1.1 Hochschule Merseburg Körperschaft des Öffentlichen Rechts

Eberhard-Leibnitz-Straße 2
06217 Merseburg

E-Mail: vergabeverfahren@abante.de

2. Verfahren

2.1 Verfahren Titel: Korrelativer 3D-Profiler für die KI-basierte Prozessentwicklung, Fachlos 1: 3D-Weißlichtinterferometersystem Beschreibung: Leistungsbeschreibung zur Vergabe im Rahmen des Förderprojekts Korrelativer 3D-Profiler für die KI-basierte Prozessentwicklung Im Rahmen des Vorhabens sollen neben drei lichtoptischen Messgeräten, auch Computertechnik, Software und schwingungsdämpfende Tische beschafft werden. Das Weißlichtinterferometersystem (Fachlos 1) und das konfokale Laserscanningmikroskop (Fachlos 2) werden als Komplettsystem ausgeschrieben. Die technischen Anforderungen an das Weitfeldmikroskop (Fachlos 3) können nach intensiver Markterkundung nur durch einen Eigenbau der Arbeitsgruppe Physik und Angewandte Lasertechnik erfüllt werden, was eine Aufteilung in Teillose notwendig macht. Übersicht der Lose: Fachlos 1: 3D-Weißlichtinterferometersystem Fachlos 2: Konfokales 3D-Laserscanning-Mikroskop Fachlos 3: Weitfeldmikroskop -Teillos 1: Hochauflösendes Infrarotkamerasystem -Teillos 2: Probenpositioniersystem -Teillos 3: Ansteuersoftware Fachlos 4: Optische Tische -Teillos 1: Pneumatisch-schwingungsisolierter optischer Tisch -Teillos 2: Aktiv-schwingungsisolierter optischer Tisch Fachlos 5: Software für Datenauswertung und Korrelation Fachlos 6: Auswerteserver Kennung des Verfahrens: b468448b-6522-4d41-8dd9-d0c23d930f67 Interne Kennung: 302/25 Verfahrensart: Offenes Verfahren Das Verfahren wird beschleunigt: nein

2.1.1 Zweck Art des Auftrags: Lieferungen Haupteinstufung (cpv): 38600000 Optische Instrumente

2.1.2 Erfüllungsort Stadt: Merseburg Land, Gliederung (NUTS): Saalekreis (DEE0B) Land: Deutschland

2.1.3 Wert Geschätzter Wert ohne MwSt.: 250 000,00 EUR

2.1.4 Allgemeine Informationen Zusätzliche Informationen: #Bekanntmachungs-ID: CXP4Y0M5VPB# Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU vgv -

5. Los

5.1 Los: LOT-0001 Titel: Korrelativer 3D-Profiler für die KI-basierte Prozessentwicklung, Fachlos 1: 3D-Weißlichtinterferometersystem Beschreibung: Fachlos 1: 3D-Weißlichtinterferometersystem (CPV: 38600000-1) Das Weißlichtinterferometersystem muss aus zwei, eigenständig nutzbaren Messköpfen bestehen, wobei einer der Messköpfe (MK1) zum Lieferzeitpunkt in eine geeignet schwingungsgedämpfte Geräteplattform mit Bewegungssystem integriert sein muss. 1.1 Geräteplattform Die Geräteplattform muss folgende technische Spezifikationen erfüllen: - Zulässige laterale Probendimensionen: mindestens 300 mm x 300 mm - Zulässige Probenhöhe: mindestens 50 mm - Zulässiges Probengewicht: mindestens 5 kg Das Hauptgerät (exklusive Benutzerarbeitsplatz) muss als möglichst kompaktes und zugängliches Laborgerät mit einer Grundfläche von höchstens 1650 mm x 1250 mm ausgeführt sein. Eine nachträgliche Neupositionierung am Aufstellungsort muss z.B. durch absetzbare Rollen möglich sein. 1.2 Bewegungssystem Das Bewegungssystem der Grundplattform muss nachfolgende Spezifikationen erfüllen: - Laterale Positionierung (x,y- Richtung) mittels motorisierter Achsen mit einem Verfahrweg von mindestens 300 mm x 300 mm - Ausgleich der Probenhöhe durch eine motorisierte vertikal verbaute Positionierachse (z-Richtung) mit einem Verfahrweg von mindestens 50 mm - Ausgleich einer Verkippung zwischen Proben und Objektiv in zwei Achsen durch einen motorisierten Neige-Tisch mit einem Verkippungsbereich von mindestens 2° in beiden Richtungen 1.3 Messköpfe Messkopf 1 (MK1) muss nachfolgende Spezifikationen erfüllen: - Kameraauflösung: mindestens 5 MP - Geschwindigkeit bei voller Auflösung: mindestens 75 fps - Möglichkeit zur kameraseitigen Einschränkung der Messpunktzahl zur Erhöhung der Geschwindigkeit - Motorisierter Objektivrevolver für mindestens 4 Objektive - Verfahrweg der Messachse: mindestens 200 µm - Topografie-Wiederholbarkeit: 0.05 nm - Wiederholbarkeit RMS: 0.005 nm Messkopf 2 (MK2) muss nachfolgende Spezifikationen erfüllen: - Kameraauflösung: mindestens 1MP - Geschwindigkeit bei voller Auflösung: mindestens 750 fps - Möglichkeit zur kameraseitigen Einschränkung der Messpunktzahl zur Erhöhung der Geschwindigkeit - Verfahrweg der Messachse: mindestens 300 µm - Topografie-Wiederholbarkeit: 0.05 nm (Einfach-Scan) - Wiederholbarkeit RMS: 0.005 nm (Einfach-Scan) Es ist ein kompletter Kabelsatz mit 5 m Länge in doppelter Ausführung zu liefern. 1.4 Objektive Zum Lieferumfang des Systems müssen 5 Objektive mit folgenden Charakteristika enthalten sein: - 5x Objektiv Hellfeld zur Probennavigation mit NA>0,1 und WD >20 mm - 10x Objektiv Mirau mit NA>0,25 und WD >7 mm - 20x Objektiv Mirau mit NA>0,35 und WD > 4,5 mm - 50x Objektiv Mirau mit NA>0,5 und WD > 3 mm - mind. 100x Objektiv Mirau mit NA>0,75 und WD > 0,5 mm 1.5 Messmodi und Datenaufnahme Beide Messköpfe müssen über eine eigenständige Ansteuerung und Datenerfassung verfügen, welche zusätzlich mit den Komponenten der Geräteplattform kommunizieren bzw. diese steuern können, sofern sie dort verbaut sind. Folgende Messmodi müssen zwingend verfügbar sein: 1. vertical scanning interferometry (VSI) bzw. coherence-scanning interferometry (CSI) 2. phase shift interferometry (PSI) 3. extended phase shift interferometry (EPSI) als Kombination von VSI/CSI und PSI 4. Mehrfachmessung mit Profilmittelung 5. Variable Schrittweiten Folgende Messmodi wären wünschenswert: 1. Anpassungen des Messmodus zur Erhöhung der Auflösung für VSI/CSI/PSI/EPSI 2. Pre-Scan Routinen zur Verkürzung der Messzeit Die Auswertung der 3D Daten in Echtzeit wäre wünschenswert. 1.6 Rechentechnik In Anbetracht der mit dem Interferometer aufnehmbaren Datenmengen muss das System über eine performante Rechentechnik mit Mehrkernprozessor, mind. 1TB SSD, 64 GB DDR5-RAM, geeigneter externer Grafikkarte sowie einem Monitor mit einer Bildschirmdiagonale von mindestens 27 ausgestattet sein. 1.7 Software Zur Datenaufnahme muss das System über eine geeignete Software mit graphischer Benutzeroberfläche verfügen. Die Software muss die Visualisierung der Probenoberfläche sowie die Anpassung der Abbildungsparameter und die Steuerung der motorisierten Aktoren ermöglichen. Ferner muss damit der Messbereich, die Schrittweite bzw. ROI oder das Binning festgelegt werden können. Die Software muss die Analyse ausgedehnter Bildbereiche durch Aneinanderreihung von Einzelmessungen (Stitching) ermöglichen. Die Software zur Auswertung der Daten muss die folgende Mindestfunktionalität aufweisen: - Automatische Visualisierung von 3D-Daten - Zusammenführung von Einzelmessungen unter Einbeziehung von Positionierdaten und Überlappungsbereichen - Berechnung von 2D (Profilschnitte) und 3D Rauheitsparametern und Basisfunktionen für die Bewertung von Geometrien - Erstellen von Makros und Batch-Processing von Datensätzen - Analyse von transparenten Schichten auf reflektierenden Substraten Ergänzung wäre die Zusammenführung von Einzelmessungen unter Einbeziehung von Höhen- und Winkeldaten wünschenswert. 1.8 Schnittstellen Zur Integration der Messköpfe in andere Anlagen muss ein Software Development Kit (SDK) mit Bibliotheken für mindestens eine der folgenden Programmiersprachen enthalten sein : C, C#, Python. Sofern verfügbar, wäre ein I/O-Modul für die Triggerung vordefinierter Messoperationen wünschenswert. 1.9 Standards Für die Kalibrierung des Systems müssen folgende Standards geliefert werden: - Laterale Kalibierstandards für alle Objektive - Ebenheitsstandard - Stufenstandard 1.10 Installation und Training Nach erfolgter Installation durch den Lieferanten, müssen mindestens 2 Mitarbeiter der AG vor Ort in der Handhabung des Geräts unterwiesen werden. Interne Kennung: 302/25

5.1.1 Zweck Art des Auftrags: Lieferungen Haupteinstufung (cpv): 38600000 Optische Instrumente

5.1.2 Erfüllungsort Stadt: Merseburg Land, Gliederung (NUTS): Saalekreis (DEE0B) Land: Deutschland

5.1.6 Allgemeine Informationen Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung

5.1.10 Zuschlagskriterien Kriterium: Art: Preis Bezeichnung: Preis Beschreibung: Es entfallen 100 % der Angebotswertung auf den angebotenen Preis. Der Bieter muss das Preisblatt (Anlage D.2) vollständig ausgefüllt zusammen mit seinem Angebot einreichen. Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau) Zuschlagskriterium — Zahl: 100,00

5.1.15 Techniken Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem Elektronische Auktion: nein

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung Überprüfungsstelle: Landesverwaltungsamt - 1. und 2. Vergabekammer Informationen über die Überprüfungsfristen: Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen: Auf die Rügepflicht des § 160 Abs. 3 GWB wird hingewiesen. Hiernach ist ein Nachprüfungsantrag bei der zuständigen Vergabekammer zulässig, soweit: - der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 GWB bleibt unberührt, - Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, - Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, - nicht mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Hochschule Merseburg Körperschaft des Öffentlichen Rechts

6. Ergebnisse Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: Nicht veröffentlicht Begründungscode: Geschäftliche Interessen eines Wirtschaftsteilnehmers

6.1 Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001 Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.

6.1.2 Informationen über die Gewinner Wettbewerbsgewinner: Offizielle Bezeichnung: GBS metrology GmbH Angebot: Kennung des Angebots: 1 Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001 Wert der Ausschreibung: Nicht veröffentlicht Begründungscode: Geschäftliche Interessen eines Wirtschaftsteilnehmers Konzession – Wert: Bei dem Angebot handelt es sich um eine Variante: Nicht veröffentlicht Begründungscode: Geschäftliche Interessen eines Wirtschaftsteilnehmers Vergabe von Unteraufträgen: Nein Informationen zum Auftrag: Kennung des Auftrags: 1 Titel: GBS Datum der Auswahl des Gewinners: 12/09/2025 Datum des Vertragsabschlusses: 12/09/2025

6.1.4 Statistische Informationen: Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge: Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1 Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1 Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1 Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0 Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0 Bandbreite der Angebote: Wert des niedrigsten zulässigen Angebots: Nicht veröffentlicht Begründungscode: Geschäftliche Interessen eines Wirtschaftsteilnehmers Wert des höchsten zulässigen Angebots: Nicht veröffentlicht Begründungscode: Geschäftliche Interessen eines Wirtschaftsteilnehmers

8. Organisationen

8.1 ORG-0001 Offizielle Bezeichnung: Hochschule Merseburg Körperschaft des Öffentlichen Rechts Registrierungsnummer: DE152802590 Postanschrift: Eberhard-Leibnitz-Straße 2 Stadt: Merseburg Postleitzahl: 06217 Land, Gliederung (NUTS): Saalekreis (DEE0B) Land: Deutschland Kontaktperson: abante Rechtsanwaltsgesellschaft mbH & Co. KG E-Mail: vergabeverfahren@abante.de Telefon: +49 34123820300 Internetadresse: www.hs-merseburg.de Rollen dieser Organisation: Beschaffer Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt

8.1 ORG-0002 Offizielle Bezeichnung: Landesverwaltungsamt - 1. und 2. Vergabekammer Registrierungsnummer: t:03455141536 Stadt: Halle (Saale) Postleitzahl: 06112 Land, Gliederung (NUTS): Halle (Saale), Kreisfreie Stadt (DEE02) Land: Deutschland E-Mail: vergabekammer@lvwa.sachsen-anhalt.de Telefon: +49 3455141529 Rollen dieser Organisation: Überprüfungsstelle

8.1 ORG-0003 Offizielle Bezeichnung: GBS metrology GmbH Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Kleines Unternehmen Registrierungsnummer: Nicht einschlägig Postanschrift: Robert-Bosch-Ring 8 Stadt: Ilmenau Postleitzahl: 98693 Land, Gliederung (NUTS): Ilm-Kreis (DEG0T) Land: Deutschland E-Mail: sales@gbs-ilmenau.de Telefon: 036778371050 Rollen dieser Organisation: Bieter Wirtschaftlicher Eigentümer: Staatsangehörigkeit des Eigentümers: Deutschland Gewinner dieser Lose: LOT-0001

8.1 ORG-0004 Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83 Stadt: Bonn Postleitzahl: 53119 Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22) Land: Deutschland E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de Telefon: +49228996100 Rollen dieser Organisation: TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 64f9030f-36f4-4671-915c-1faeb51b185e - 01 Formulartyp: Ergebnis Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung Unterart der Bekanntmachung: 29 Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 09/10/2025 12:18:53 (UTC+2) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 664771-2025 ABl. S – Nummer der Ausgabe: 195/2025 Datum der Veröffentlichung: 10/10/2025