Abschnitt I:

I.1) Friedrich-Schiller-Universität Jena

Fürstengraben 1

07743 Jena

Telefon: +49 3641-9412220

E-Mail: vergabestelle@uni-jena.de

Internet: www.uni-jena.de

I.2) Informationen zur gemeinsamen Beschaffung

I.4) Art des öffentlichen Auftraggebers Einrichtung des öffentlichen Rechts

I.5) Haupttätigkeit(en) Bildung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1) Umfang der Beschaffung

II.1.1) Bezeichnung des Auftrags: Rasterelektronenmikroskop Referenznummer der Bekanntmachung: EU-OV/2023-125

II.1.2) CPV-Code Hauptteil 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

II.1.3) Art des Auftrags rag

II.1.4) Kurze Beschreibung: Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben. Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen: - Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen - CD-Messung - Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen - Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen - Geometrische Analyse von Nanopartikeln - Abbildung von Baulementen (Chip)

II.1.6) Angaben zu den Losen Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7) Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.) Wert ohne MwSt.: 630.000,00 EUR

II.2) Beschreibung

II.2.1) Bezeichnung des Auftrags

II.2.2) Weitere(r) CPV-Code(s)

II.2.3) Erfüllungsort NUTS-Code: DEG03 Hauptort der Ausführung: Aufstellungsort ist der Reinraum des Leibniz-Instituts für Photonische Technologien e.V. (Leibniz-IPHT), Albert-Einstein-Str. 9 in 07745 Jena.

II.2.4) Beschreibung der Beschaffung: Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben. Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen: - Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen - CD-Messung - Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen - Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen - Geometrische Analyse von Nanopartikeln - Abbildung von Baulementen (Chip) weiteres siehe Anlage 2

II.2.5) Zuschlagskriterien Qualitätskriterium - Name: Technische Ausführung / Wirtschaftlichkeit / Gewichtung: 50 Preis - Gewichtung: 50

II.2.11) Angaben zu Optionen Optionen: nein

II.2.13) Angaben zu Mitteln der Europäischen Union Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14) Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1) Beschreibung

IV.1.1) Verfahrensart Offenes Verfahren

IV.1.3) Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.6) Angaben zur elektronischen Auktion

IV.1.8) Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA) Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein

IV.2) Verwaltungsangaben

IV.2.1) Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

IV.2.2) Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge

IV.2.4) Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2023/S 134-426018

IV.2.8) Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9) Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe Auftrags-Nr.: EU-OV/2023-125 Bezeichnung des Auftrags: Rasterelektronenmikroskop Ein Auftrag / Los wurde vergeben: ja

V.2) Auftragsvergabe

V.2.1) Tag des Vertragsabschlusses 29.09.2023

V.2.2) Angaben zu den Angeboten Anzahl der eingegangenen Angebote: 3 Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 2 Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0 Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0 Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 3 Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3) Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde Jeol (Germany) GmbH Freising Deutschland NUTS-Code: DE21B ftragnehmer ist ein KMU: nein

V.2.4) Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.) Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: 630.000,00 EUR Gesamtwert des Auftrags / Loses: 519.154,70 EUR

V.2.5) Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3) Zusätzliche Angaben sorgung Altgerät 7.000 Euro Netto an Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH

VI.4) Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1) Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer Jorge-Semprún-Platz 4 Weimar 99423 Deutschland

VI.4.2) Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren

VI.4.3) Einlegung von Rechtsbehelfen Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen: Rügen der Bieter, in welchen diese einen Verstoß gegen die Vorschriften im Vergabeverfahren vortragen, sind ausnahmslos (schriftlich oder per E-Mail) an die Vergabestelle zu richten. Hilft die Vergabestelle der Rüge nicht ab, wird mit Eingang des entsprechenden Antwortschreibens der Vergabestelle, eine Frist von 15 Kalendertagen in Gang gesetzt (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB), innerhalb derer der Bieter einen etwaigen Nachprüfungsantrag bei der Vergabekammer einreichen kann.

VI.4.4) Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

VI.5) Tag der Absendung dieser Bekanntmachung Tag: 29.09.2023