Abschnitt I:

I.1) IHP GmbH

Im Technologiepark 25

15236 Frankfurt (Oder)

E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com

Internet: www.ihp-microelectronics.com

I.2) Gemeinsame Beschaffung

I.4) Art des öffentlichen Auftraggebers Andere: Forschung und Entwicklung

I.5) Haupttätigkeit(en) Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1) Umfang der Beschaffung

II.1.1) Bezeichnung des Auftrags: Scattering Scan-Nahfeld-Mikroskopie. Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2017-038

II.1.2) CPV-Code Hauptteil 38000000

II.1.3) Art des Auftrags Lieferauftrag

II.1.4) Kurze Beschreibung: Das Scoring-Typ Scanning Near-Field-Mikroskop-Tool sollte in der Lage sein, die Bildgebung und Spektroskopie von Standard-Halbleiterproben, 2D-Materialien, organischen und anorganischen Materialien und Biomaterialien durchzuführen. Die Arbeit des Werkzeugs sollte auf dem Standard-Atomkraft-Mikroskopie-Werkzeug basieren, wobei die AFM-Spitze zur Sonde verwendet wird und die darunter befindliche Probe abgebildet wird. Die ankommende elektromagnetische Strahlung auf der Spitze sollte fokussiert oder nano fokussiert auf das Material unter ihm sein. Der Fokus der Spitze sollte in der Größenordnung von Nanometern liegen. In der folgenden Liste wird die Anforderung der Mikroskopie-Plattform zusammen mit verschiedenen Imaging-Tools und Spektroskopie-Tools erwähnt.

II.1.6) Angaben zu den Losen Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7) Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)

II.2) Beschreibung

II.2.1) Bezeichnung des Auftrags

II.2.2) Weitere(r) CPV-Code(s)

II.2.3) Erfüllungsort NUTS-Code: DE403

II.2.4) Beschreibung der Beschaffung: Das Scoring-Typ Scanning Near-Field-Mikroskop-Tool sollte in der Lage sein, die Bildgebung und Spektroskopie von Standard-Halbleiterproben, 2D-Materialien, organischen und anorganischen Materialien und Biomaterialien durchzuführen. Die Arbeit des Werkzeugs sollte auf dem Standard-Atomkraft-Mikroskopie-Werkzeug basieren, wobei die AFM-Spitze zur Sonde verwendet wird und die darunter befindliche Probe abgebildet wird. Die ankommende elektromagnetische Strahlung auf der Spitze sollte fokussiert oder nano fokussiert auf das Material unter ihm sein. Der Fokus der Spitze sollte in der Größenordnung von Nanometern liegen. In der folgenden Liste wird die Anforderung der Mikroskopie-Plattform zusammen mit verschiedenen Imaging-Tools und Spektroskopie-Tools erwähnt.

Plattform:- — Apertureless Nahfeld-Scan-Technologie für hochwertige optische Bildgebung und Spektroskopie von Halbleitern, Biomolekülen, organischen Polymeren, ohne Verwendung von Fasern. — Fähigkeit, Frequenzbereich von sub-THz bis hin zu sichtbarem Spektrum zu akzeptieren — Anforderung an eine hochstabile Atomkraftmikroskopie (AFM) optimierte Einrichtung, die für alle Proben geeignet ist, die mit der Standard-AFM-Technik kompatibel sind. Standard AFM Probenvorbereitung erforderlich — räumliche Auflösung in der Größenordnung von 10 nm. Die räumliche Auflösung sollte durch die AFM-Spitze definiert werden. — Das Werkzeug sollte modular sein, wo verschiedene Bild- und Spektroskopiemodule hinzugefügt werden können, um die Funktionalität des Werkzeugs zu erhöhen

Imaging und Detektion System: - — Fähigkeit zur Abbildung im visuellen Spektrum und MID-IR-Spektrumbereiche. — Fähigkeit zur elektrischen Feldabbildung von organischen, anorganischen, Halbleiterproben und plasmonischen Strukturcharakterisierung. — Fähigkeit zur Charakterisierung von 2D-Halbleitern mit Empfindlichkeit bis zur Einzelmonoschicht. — Sollte die Nano-Imaging-Fähigkeit mit austauschbaren sichtbaren Strahlengang-Konfiguration und MID-IR-Strahlengang Konfiguration. — Anforderung eines interferometrischen Strahlengangs für optische Amplituden- und Phasendetektion. — Anforderung von Reflexions- und Getriebeerkennungsmodulen. — Die Module sollten in der Lage sein, den Frequenzbereich von Sub-THz zu sichtbarem Spektrum zu erfassen. — Anforderung einer modularen und austauschbaren Strahlteileranordnung für unterschiedliches Betriebs- betrieb. — Für den interferometrischen Strahlengang für Amplituden- und Phasenmessungen sollte der Detektor in der Lage sein, eine Amplituden- und Phasenauflösungserfassung zu ermöglichen. — Abmessungen der Bodenbeleuchtung für den Transmissionsmodus-Detektor möglich. — Der Übertragungsmodus-Detektor sollte für die Wellenwellenbeleuchtung geeignet sein.

Nahfeld-Spektroskopie-Modul (FTIR) — Fähigkeit des Nahfeldes Nano FTIR. — Das FTIR-Modul sollte auch interferometrisches Design aufweisen, das gleichzeitig den Brechungsindex und die Extinktion messen kann. — Ermöglicht das Erreichen eines hohen Signal-Rausch-Verhältnisses des Spektroskopiesignals durch Entkoppeln des Hintergrund-Rauschens.

TeraHertz Zeitbereich Spektroskopie — Fähigkeit, Nahfeld Tera Hertz Bildgebung und Spektroskopie. — Ermöglicht die Messung des Frequenzbereichs von 0,1 THz bis 3 THz. — Fähigkeit der Zeitdomäne THz Spektroskopie. — Die Arbeit des Werkzeuges sollte auf dem Femtosekunden-Laser basieren.

II.2.5) Zuschlagskriterien Kostenkriterium - Name: Preis / Gewichtung: 40 % Kostenkriterium - Name: Funktionalität entsprechend Anforderungen in der Leistungsbeschreibung / Gewichtung: 60 %

II.2.11) Angaben zu Optionen Optionen: nein

II.2.13) Angaben zu Mitteln der Europäischen Union Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14) Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1) Beschreibung

IV.1.1) Verfahrensart Offenes Verfahren

IV.1.3) Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.6) Angaben zur elektronischen Auktion

IV.1.8) Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA) Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein

IV.2) Verwaltungsangaben

IV.2.1) Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2017/S 084-162914

IV.2.8) Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9) Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: IHP-2017-038 Bezeichnung des Auftrags: Scattering Scan-Nahfeld-Mikroskopie Ein Auftrag/Los wurde vergeben: nein

V.1) Information über die Nichtvergabe Der Auftrag/Das Los wird nicht vergeben Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder es wurden alle abgelehnt

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3) Zusätzliche Angaben

VI.4) Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1) Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten Heinrich-Mann-Allee 107 Potsdam 14473 Deutschland

VI.4.2) Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren

VI.4.3) Einlegung von Rechtsbehelfen

VI.4.4) Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

VI.5) Tag der Absendung dieser Bekanntmachung Tag: 28.08.2017