I.1) INNOVENT e. V.

Prüssingstr. 27 B

07745 Jena

Telefon: +49 03641282510

Fax: +49 3641282530

E-Mail: mailto: vergabe@innovent-jena.de

Internet: www.deutsche-evergabe.de

I.2) Informationen zur gemeinsamen Beschaffung

I.3) Kommunikation Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter: Internet: www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/b1efafa2-4af1-4f8d-8b20-78e22d05275c Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via: Internet: www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/b1efafa2-4af1-4f8d-8b20-78e22d05275c Im Rahmen der elektronischen Kommunikation ist die Verwendung von Instrumenten und Vorrichtungen erforderlich, die nicht allgemein verfügbar sind. Ein uneingeschränkter und vollständiger direkter Zugang zu diesen Instrumenten und Vorrichtungen ist gebührenfrei möglich unter: Internet: www.deutsche-evergabe.de

I.4) Art des öffentlichen Auftraggebers Einrichtung des öffentlichen Rechts

I.5) Haupttätigkeit(en) Allgemeine öffentliche Verwaltung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1) Umfang der Beschaffung

II.1.1) Bezeichnung des Auftrags: Konzeption, Planung, Aufbau und Inbetriebnahme einer modernen Kristallzuchtanlage Referenznummer der Bekanntmachung: VG_INNO_2022_MOS_Kristall

II.1.2) CPV-Code Hauptteil 38900000 Bewertungs- und Testinstrumente

II.1.3) Art des Auftrags Lieferauftrag

II.1.4) Kurze Beschreibung: Der Auftragsgegenstand umfasst Konzeption, Planung, Aufbau und Inbetriebnahme einer modernen Kristallzuchtanlage, welche speziell auf die Anforderungen der Flüssigphasenepitaxie (LPE) zugeschnitten ist. Mit der geplanten Anlage soll die Fähigkeit geschaffen werden, einkristalline Substratwafer mit einem Durchmesser von 4 Zoll zu beschichten. Um die gewünschten magnetischen und optischen Funktionseigenschaften einzustellen, müssen dafür eine ganze Reihe von Prozessparametern präzise eingestellt und überwacht werden. Die genauen Spezifikationen und Anforderungen sind im Leistungsverzeichnis hinterlegt.

II.1.5) Geschätzter Gesamtwert Wert ohne MwSt.: 960.000,00 EUR

II.1.6) Angaben zu den Losen Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.2) Beschreibung

II.2.1) Bezeichnung des Auftrags

II.2.2) Weitere(r) CPV-Code(s) 45214620 Bau von Forschungs- und Prüfeinrichtungen

II.2.3) Erfüllungsort NUTS-Code: DEG03 Hauptort der Ausführung: in den Vergabeunterlagen aufgeführt

II.2.4) Beschreibung der Beschaffung: Der Auftragsgegenstand umfasst Konzeption, Planung, Aufbau und Inbetriebnahme einer modernen Kristallzuchtanlage, welche speziell auf die Anforderungen der Flüssigphasenepitaxie (LPE) zugeschnitten ist. Mit der geplanten Anlage soll die Fähigkeit geschaffen werden, einkristalline Substratwafer mit einem Durchmesser von 4 Zoll zu beschichten. Um die gewünschten magnetischen und optischen Funktionseigenschaften einzustellen, müssen dafür eine ganze Reihe von Prozessparametern präzise eingestellt und überwacht werden. Beim LPE-Verfahren werden die Substratwafer in eine unterkühlte Schmelzlösung aus Fe2O3, Bi2O3, Ga2O3, B2O3 und PbO bei Temperaturen von 600 bis 1250°C eingetaucht. Dabei kann durch epitaktisches Kristallwachstum eine einkristalline Funktionsschicht abgeschieden werden. Anlagentechnisch ist der hohe Dampfdruck von Bleioxid zu beachten und es müssen entsprechende Sicherheitsvorkehrungen vorhanden sein, um die Exposition der Umgebung mit Blei-haltigen Verbindungen auszuschließen. Wesentliche Prozessparameter der Anlage sind ein definiert einstellbarer vertikaler Temperaturgradient im Ofen, sowie die Möglichkeit, Tiegel und Probenhalter in zeitlich programmierbaren Translations- und Rotationsbewegungen zu verfahren. Zusätzlich soll die Möglichkeit geschaffen werden, die Homogenisierung der Schmelze durch die Einkopplung einer definierten mechanischen Schwingung in den Tiegel zu verbessern. Das Anfahren der Zuchttemperatur durch Absenkung der Temperatur der Schmelze um ca. 100 K muss durch die Durchströmung des Ofenrohrs mit Druckluft auf eine Zeitspanne von wenigen Stunden reduziert werden können. Es müssen anlagentechnische Vorkehrungen getroffen werden, die erhöhte Abdampfung von Bleioxid während der Abkühlphase zu unterdrücken. Die Anlage muss außerdem die Möglichkeit bieten, die zu beschichtenden Wafer durch geeignete Prozessierung thermisch vor- und nachzubehandeln. Die Anlage muss als Komplettsystem mit allen zur Beschichtung von 4-Zoll-Wafern notwendigen Einbauten inklusive Leistungselektronik, Kühlwasser¬kreislaufsystem, Abluftsystem sowie Steuerungs- und Regelungssystem mit PC angeboten werden.  Die Anforderungen an die einzelnen Prozessparamater sind zwingend dem Leistungsverzeichnis zu entnehmen. Weitere Bedingungen sind in der Anlage "Vergabebedingungen" hinterlegt!

II.2.5) Zuschlagskriterien Die nachstehenden Kriterien Qualitätskriterium - Name: Anforderungsmerkmale / Gewichtung: 70 Preis - Gewichtung: 30

II.2.6) Geschätzter Wert Wert ohne MwSt.: 960.000,00 EUR

II.2.7) Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung, des dynamischen Beschaffungssystems oder der Konzession Beginn: 10.11.2022 Ende: 15.09.2023 Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein

II.2.10) Angaben über Varianten/Alternativangebote Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein

II.2.11) Angaben zu Optionen Optionen: nein

II.2.12) Angaben zu elektronischen Katalogen

II.2.13) Angaben zu Mitteln der Europäischen Union Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja Projektnummer oder -referenz: FTI-Richtlinie - Förderkennzeichen: 2022 WIN 0024 "Wirtschaftsnahe Infrastruktur"

II.2.14) Zusätzliche Angaben Um die LPE-Anlage an dessen Verwendungsstelle zu positionieren, müssen folgende Grundspezifikationen des Gebäudes berücksichtigt werden:• Der geplante Aufstellort ist ein Labor im Keller mit 3,70 m Deckenhöhe • Zugang in das Gebäude ist entweder über einen Kellereingang oder eine Rampe ins Erdgeschoss möglich; der Kellereingang benötigt einen Kran zum Ablassen, die Rampe muss ab einem Gewicht von 400 kg zusätzlich abgestützt werden • Außentür Keller: Breite 1530 mm, Höhe 2045 mm • Labortür: Breite 1285 mm (mit ausgehangenen Flügeln), Höhe 2090 mm • Damit ergibt sich ein lichtes Durchgangsmaß von Breite 1280 x Höhe 2045 mm • Fahrstuhl: Türbreite: 880 mm, Höhe: 2050 mm, Länge: 2000 mm zulässige max. Traglast 1000 kg • Eine Ortsbegehung für einen sichergestellten Antransport zum Aufstellort ist von allen Bietern zwingend durchzuführen • Die maximale Stellfläche beträgt 1800 x 1800 mm • Die maximale Bodenlast beträgt 400 kg pro m² • Für das Abluftsystem und das Kühlwassersystem sind in den angrenzenden Räumen zusätzliche Stellflächen vorhanden

Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben

III.1) Teilnahmebedingungen

III.1.1) Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen: Ein aktueller Handelsregisterauszug ist mit Angebotsabgabe einzureichen

III.1.2) Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit Eignungskriterien gemäß Auftragsunterlagen

III.1.3) Technische und berufliche Leistungsfähigkeit Eignungskriterien gemäß Auftragsunterlagen

III.1.5) Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen

III.2) Bedingungen für den Auftrag

III.2.1) Angaben zu einem besonderen Berufsstand Beruf angeben:

III.2.2) Bedingungen für die Ausführung des Auftrags Von allen Bewerbern, welche an der Ausschreibung teilnehmen, ist während der Ausschreibungsdauer eine Konzeption der geforderden Kristallzuchtanlage zu erstellen. Das Konzept der Schutzvorkehrungen vor giftigen Bleioxid-haltigen Dämpfen und zur Filtration und Entsorgung Bleioxid-haltiger Kondensate ist dabei von besonderer Relevanz. Die Schutzvorkehrungen müssen in die bestehende Haustechnik integriert werden. Deswegen wird während der Angebotfrist von seitens des Auftraggebers ein Ortstermin zur Begehung angeboten. Die Teilnahme von Bietern an diesem Termin ist zwingend erforderlich, insofern Sie dies nicht breits nachweilich getan haben. Bewerber, welche an der Ausschreibung teilnehmen, müssen Referenzen für vergleichbare Schutzvorkerhungen vor Blei-oxidhalten Dämpfen in den Bereichen Keramik-, Glas- oder Metallverarbeitung vorweisen können.  Zudem ist eine Ortsbegehung für einen sichergestellten Antransport zum Aufstellort von allen Bietern zwingend durchzuführen.  Um die LPE-Anlage an dessen Verwendungsstelle zu positionieren, müssen folgende Grundspezifikationen des Gebäudes berücksichtigt werden:  • Der geplante Aufstellort ist ein Labor im Keller mit 3,70 m Deckenhöhe • Zugang in das Gebäude ist entweder über einen Kellereingang oder eine Rampe ins Erdgeschoss möglich; der Kellereingang benötigt einen Kran zum Ablassen, die Rampe muss ab einem Gewicht von 400 kg zusätzlich abgestützt werden • Außentür Keller: Breite 1530 mm, Höhe 2045 mm • Labortür: Breite 1285 mm (mit ausgehangenen Flügeln), Höhe 2090 mm • Damit ergibt sich ein lichtes Durchgangsmaß von Breite 1280 x Höhe 2045 mm • Fahrstuhl: Türbreite: 880 mm, Höhe: 2050 mm, Länge: 2000 mm zulässige max. Traglast 1000 kg • Die maximale Stellfläche beträgt 1800 x 1800 mm • Die maximale Bodenlast beträgt 400 kg pro m² • Für das Abluftsystem und das Kühlwassersystem sind in den angrenzenden Räumen zusätzliche Stellflächen vorhanden

III.2.3) Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1) Beschreibung

IV.1.1) Verfahrensart Offenes Verfahren

IV.1.3) Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.4) Angaben zur Verringerung der Zahl der Wirtschaftsteilnehmer oder Lösungen im Laufe der Verhandlung bzw. des Dialogs

IV.1.5) Angaben zur Verhandlung

IV.1.8) Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA) Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2) Verwaltungsangaben

IV.2.1) Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

IV.2.2) Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge Tag: 18.12.2022 Ortszeit: 23:59

IV.2.3) Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber

IV.2.4) Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können Deutsch

IV.2.6) Bindefrist des Angebots Das Angebot muss gültig bleiben bis: 12.02.2023

IV.2.7) Bedingungen für die Öffnung der Angebote Tag: 19.12.2022 Ortszeit: 08:00 Angaben über befugte Personen und das Öffnungsverfahren:

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.1) Angaben zur Wiederkehr des Auftrags Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein

VI.2) Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen Aufträge werden elektronisch erteilt Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert Die Zahlung erfolgt elektronisch

VI.3) Zusätzliche Angaben Dem Bieter ist bekannt, dass die Beschaffungsmaßnahme mit Zuwendungen gemäß dem Bescheid zum Förderkennzeichen 2022 WIN 0024 vom 15.09.2021 gefördert wird. Die Zuwendungssummen sind vom Auftraggeber rechtzeitig bis spätestens 30.09.2023 abzurufen. Die Einhaltung von Fristen, wie z.B. die Rechnungslegungsfristen oder Lieferfrist ist daher essentiell für den Auftrag und zwingend von den Bietern einzuhalten. Die Inbetriebnahme muss zwingend bis 15.09.2023 erfolgen. Der Inbetriebnahmetermin ist Ausschlusskriterium. Ein Bewerber, der diese Frist nicht anbieten kann, fällt aus dem Auswahlverfahren heraus.   Die Lieferung erfolgt an: INNOVENT e. V., Prüssingstraße 27b, 07745 Jena

VI.4) Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1) Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren Thüringer Landesverwaltungsamt – Vergabekammer des Freistaates Thüringen Weimarplatz 4 Weimar 99423 Deutschland Telefon: +49 361573321254 E-Mail: mailto: vergabekammer@tlvwa.thueringen.de Fax: +49 361573321059

VI.4.2) Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren

VI.4.3) Einlegung von Rechtsbehelfen Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen: (1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen. (2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen.

VI.4.4) Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

VI.5) Tag der Absendung dieser Bekanntmachung Tag: 09.11.2022