2026/07-51605: Hochpräzises Ionenstrahl- Ätz- und Poliersystem zur Artefaktfreien Präparation von TEM und REM Proben mit Ionenquellen UVGO Öffentliche Ausschreibung

30.07.2026

Bekanntmachung UVgO: Hochpräzises Ionenstrahl- Ätz- und Poliersystem zur Artefaktfreien Präparation von TEM und REM Proben mit Ionenquellen

Vergabenummer 2026/07-51605
Bezeichnung Hochpräzises Ionenstrahl- Ätz- und Poliersystem zur Artefaktfreien Präparation von TEM und REM Proben mit Ionenquellen
Art der Vergabe Öffentliche Ausschreibung
Vergabe- und Vertragsordnung UVgO
Art des Auftrags Lieferleistung

Auftraggeber

Adresse der zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle

Bezeichnung Helmholtz-Zentrum hereon GmbH
Kontaktstelle Vergabestelle
Max-Planck-Straße 1
21502 Geesthacht
Telefon +49 4152870
Fax +49 415287-1750
E-Mail einkauf@hereon.de

Bei Vergabe im Namen und für Rechnung

Adresse der den Zuschlag erteilenden Stelle

Siehe "zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle"

Stelle, die die Vergabeunterlagen abgibt oder bei der sie eingesehen werden können

Siehe "zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle"

Auftragsgegenstand

Leistungsbeschreibung

Art der Leistung

Präambel

Die Helmholtz-Zentrum hereon GmbH (Hereon) ist eine gemeinnützige Forschungseinrichtung und eine der 18 Mitgliedseinrichtungen der Hermann von Helmholtz-Gemeinschaft Deutscher Forschungszentren e. V. Die Aufwendungen des Hereon werden zu 90% vom Bund (BMFTR - Bundesministerium für Forschung, Technologie und Raumfahrt) und zu 10% von den vier Konsortialländern (Schleswig-Holstein, Hamburg, Niedersachsen und Brandenburg) finanziert.

Die satzungsmäßige Aufgabe der Gesellschaft ist es, im multidisziplinären Verbund Forschung und Entwicklung, insbesondere auf den Gebieten der Materialforschung, der Küsten-, Klima- und Umweltforschung sowie der regenerativen Medizin zu betreiben.

Leistungsbeschreibung

Gegenstand der Ausschreibung ist ein Hochpräzises Ionenstrahl- Ätz- und Poliersystem zur Artefaktfreien Präparation von TEM und REM Proben mit Ionenquellen

Es soll ein komplettes und modular aufeinander abgestimmte Equipment zur physikalischen Enddünnung, zum Polieren und zur Oberflächenreinigung von materialwissenschaftlichen Proben (Halbleiter, Metalle, Keramiken) für die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) und Rasterelektronenmikroskopie (REM) beschafft werden. Das Probenpräparationsequipment muss in der Lage sein, die Proben mechanisch zu schneiden, diese vor zu dünnen und schadensfrei bis zur Elektronentransparenz zu bearbeiten. Das System muss explizit für die Artefakt- und Schadensschichtbeseitigung nach mechanischer Keil- und Planarpräparation (z. B. mittels Teller-Poliersystemen wie z.B. Multiprep) geeignet sein. Hierzu ist eine softwaregesteuerte, gradgenaue Sektorenaufteilung (Strahlmodulation) zur Vermeidung von Halter-Sputtern zwingend erforderlich. Das System muss über mindestens zwei unabhängige Edelgasionenquellen verfügen, die einen kontinuierlichen Betrieb in einem Beschleunigungsspannungsbereich von mindestens 100 V bis 8 kV abdecken. Zur präzisen Zielpräparation von FIB-Lamellen ist ein motorisierter X,Y-Verschiebetisch mit einer Genauigkeit von mindestens 0,5 mm zwingend erforderlich. Die visuelle Endpunkterkennung muss über ein integriertes Digitalmikroskop mit direkter Software-Anbindung zur Bildspeicherung erfolgen. Alle Funktionen sollen benutzerfreundlich und einfach über ein Touchdisplay bedienbar sein.

Die Artefaktfreie Präparation von TEM- und REM-Proben muss technologisch vollständig aufeinander abgestimmt sein und eine lückenlose, standardisierte Prozesslinie bilden. Sie müssen als geschlossene, validierte Prozesskette zur sequentiellen Probenpräparation einsetzbar sein. Die mechanischen Aufnahmen, Probenhalter und Transportmedien müssen untereinander sowie mindestens mit den marktüblichen TEM-Probenhaltern (3 mm Standarddurchmesser) ohne Modifikation kompatibel sein. Ein kontaminations- und beschädigungsfreier Transfer der Proben zwischen den einzelnen Präparationsschritten (Trennen, Schleifen, Mulden) muss prozesssicher gewährleistet sein. Alle Komponenten müssen als geschlossene Systemlinie desselben Herstellers angeboten werden oder nachweislich über herstellerübergreifende, standardisierte Schnittstellen verfügen, die einen nahtlosen Workflow ohne Medienbruch garantieren.

Ionenquelle

• Mindestens zwei unabhängig voneinander justierbare Penning-Ionenquellen, die Massenstromregler nutzen, um entweder schnelles Fräsen oder langsames, präzises Ionenpolieren zu ermöglichen
• Motorisierung der Ionenquellen, steuerbar und speicherbar über die Benutzeroberfläche zur Sicherstellung von Kopien und Wiederholungen und deren automatisches Ausführen
• Die Ionenkanonen sollten in einem Winkel von 120° zueinander eingestellt werden können
• Möglichkeit der Nutzung von nur einer Ionenquelle separat und beider Ionenquellen gemeinsam oder keiner
• Kontinuierlich und in feinen Schritten regelbare Ionenstrahlenergie in einem Bereich von 0,1 bis mindestens 8,0 kV
• Stufenlos einstellbare Fräswinkleinstellung unabhängig voneinander für beide Kanonen in einem Bereich von mindestens +10° bis -10°
• Keine verbrauchbaren Teile direkt an den Ionenquellen
• Ausgelegt für den Betrieb von mehreren Ionenarten, darunter hochreinem Argon und Xenon
• Möglicher variabler Strombereich wählbar von 0 bis 100 µA
• Direkte Messung der Ströme an den Ionenquellen (für jede Kanone unabhängig)
• Ionenstromdichte von mindestens 10 mA/cm² um schnelle Abtragraten zu gewährleisten
• Die Strahlbreite an der Probe darf für Standardkanonen nicht größer als 400 ?m FWHM und für Breitstrahlkanonen nicht größer als 850 ?m sein, der Ionenstrahldurchmesser muss während des Prozesses stabil bleiben
• Möglichkeit zur programmierbaren Strahlmodulation (Sektorenätzung / Single- oder Dual-Beam-Modulation) für die gezielte Bearbeitung einseitig montierter Proben oder FIB-Grids
• Automatisch kalibrierte Gasdurchflussregelung zur reproduzierbaren Ionenfräsleistung und Möglichkeit der manuellen Einstellung des Gasdurchflusses und der Betriebsparameter

Umfang der Leistung

Probenbühne und Schleusensystem

• Motorisierter oder hochpräziser mechanischer X-Y-Verschiebetisch zur exakten Zentrierung der Zielregion (Region of Interest) im Rotationszentrum des Ionenstrahls
• Motorisierte Probenrotation
• Integration eines Vakuum-Schnellschleusensystems oder einer Schnellwechselkammer. Der Probenwechsel muss ohne vollständiges Belüften der Haupt-Vakuumpumpe in unter 60 Sekunden durchführbar sein (Probe ausschleusen, eine neue zu einschleusen und die Ionenstrahlen wieder zu starten und zu fräsen)
• Integriertes Flüssigstickstoff-Kühlsystem
• Dewar und Leitstab sollten sich das Hauptvakuumsystem teilen
• 6-8 Stunden Dewar-Kühl-Kapazität
• Probentemperatur: mindestens -120 °C (±25 °C)
• Elektronische Temperaturregelung: Mindestbereich von -180 bis +100 °C
• Durchlichtbeleuchtung der Probe
• Eingebauter Dewar-Heizer
• Das Schleusensystem soll auf Proben mit und ohne Probenkühlung optimiert sein
• Ausstattung der Probenbühne mit einem Encoder, auslesbar über den Touchscreen
• Sektorfräsen im Bereich von 5 bis 90°, über Touchscreen verfügbar und einstellbar
• Stufenlose und variabel Drehzahleinstellung von 1 bis 6 U/min (12 U/min durch die inaktiven Sektoren bei Strahlmodulation)

Probenhaltersysteme

• Im Lieferumfang muss mindestens ein spezialisierter Probenhalter (z. B. DuoPost-Halter, Klemmhalter oder funktionsgleich) enthalten sein, der mechanisch mit Platten-Poliersystemen (z. B. MultiPrep) hergestellte Keilproben (Wedge-Samples) und dünne Planarproben sicher und beschädigungsfrei fixiert
• Die Halterung muss so konstruiert sein, dass empfindliche Probenkanten oder Trägerringe (z. B. Graphit, Kupfer- oder Molybdän) vor direktem, unerwünschtem Ionenbeschuss geschützt sind, um Materialverschleppungen (Redeposition) und Kontaminationen der Zielregion zu verhindern.
• Das Probenhaltersystem muss voll kompatibel mit der geforderten Sektorenätzung (Strahlmodulation) sein, sodass die Ionenkanonen exakt synchron zur Rotation des Halters ein- und ausgeschaltet werden können
• Die Halter müssen kompatibel zum integrierten Flüssigstickstoff-Kühlsystem sein und bei Raumtemperatur einsetzbar

Probenbetrachtung und Überwachung des Ätzprozesses

• Ein digitales CCD-Bildgebungssystem mit mindestens 5 Megapixeln zur Echtzeit-Anzeige auf einem Desktop-Computer. Das Kamerasystem wird von der Software DigitalMicrograph® gesteuert
• Während des Betriebs sollen Bilder aufgenommen werden können und gleichzeitig die letzten mind. 10 Bilder angezeigt
• Probenbeleuchtung in Reflexion und Transmission mit regulierbarer Intensität am Touchscreen
• Integriertes Digitalmikroskop mit einem Vergrößerungsbereich von 80x
• Insitu Beobachtung zu jeder Zeit ohne die Ionenquellen abzuschalten oder die Proben auszuschleusen
• Integrierter Shutter um die Probe abzuschirmen zu können und um Kontaminationen zu vermeiden
• Automatisches System zur Perforationserkennung (z. B. optischer Lichttransmissionsensor), um den Prozess beim Erreichen der Elektronentransparenz selbstständig zu erfassen und zu stoppen.

Vacuumsystem

• Das Vakuumsystem soll innerhalb des Gehäuses vollständig autark sein
• Vollständig trockenlaufendes, ölfreies Vakuumsystem bestehend aus einer Vorpumpe (z. B. Membranpumpe) und einer leistungsstarken Turbomolekularpumpe zur Vermeidung von Kohlenwasserstoff-Kontaminationen auf den Probenoberflächen
• Basisdruck von mindestens < 6e-5 Torr
• Grunddruck der Probenkammer: < 5e-6 Torr
• Überwachung des Vacuums in der Probenkammer und der Backing line

Anforderung an Computerhard und -software

• Steuerung aller Parameter (Spannung, Winkel, Gasfluss, Modulation, Timer) über einen integrierten Touchscreen (Mindestgröße 10 Zoll),
• die Betriebssoftware muss die Erstellung, Speicherung und das automatisierte Abrufen mehrstufiger Bearbeitungsrezepte (Multi-Step-Milling) erlauben
• Fernzugriff auf das System ist über Netzwerkverbindungen möglich. Dies ermöglicht die Kommunikation über den Systemstatus sowie das Stoppen, Pausieren oder Starten eines Prozesses.
• Bilder sollen mindestens in den Formaten .dm und .tif gespeichert werden

Mechanische Probenpräparation

• Manuelles oder pneumatisches grat- und verformungsfreien Ausstanzen von Scheiben aus weicheren Materialien wie Metallfolien oder Polymeren mit 3 mm im Durchmesser und einer Dicke von bis zu 400 µm ergonomische Handhabung, feingeschliffene Stempel und Matrizen für saubere Schnittkanten
• Präzises, grat- und verformungsfreies Ausschneiden von Probenplättchen aus spröden, harten oder leitfähigen Materialien (Halbleiter, Keramik, Mineralien, Glas) unter Verwendung von Ultraschall-Vibrationen und abrasiven Medien, integrierte Ausrichtoptik (Auflichtbeleuchtung) zur gezielten Platzierung des Schnittbereichs auf dem Probenmaterial, auswechselbare Schneidwerkzeuge (für Standarddurchmesser von 3 mm, sowie mindestens 4 weitere Größen und Formen)
• Planparalleles Schleifen und Polieren zur beidseitigen, parallelen Dünnung von Materialproben (Durchmesser 9 mm oder kleiner) auf definierte Dicken (50 µm), Toleranz im Mikrometerbereich, Mikrometer-Polierkopf zur exakten Probeneinspannung, einstellbarer Anpressdruck und variable Schleifgeschwindigkeit für reproduzierbare Ergebnisse und minimalen Probenbruch, inklusive erforderlicher Probenhalter, Montagematerial und Verbrauchsmaterialien
• Mechanisches Vorverdünnen von Proben (z. B. 3 mm TEM-Plättchen) zur Erzeugung einer kugel- oder muldenförmigen Vertiefung im Zentrum, präzise Ausricht- und Zentriervorrichtung für exakte Positionierung, Mikrometergenaue Tiefen- und Dickensteuerung der Schleif-/Polierposition, idealerweise mit automatischer Endabschaltung beim Erreichen einer definierten Restdicke, inklusive optischer Überwachungseinheit (Mikroskop/Kamera) zur visuellen Kontrolle des Dünnungsprozesses sowie erstem Satz Poliertücher, Diamantsuspensionen und Schleifscheiben

Definition von Schnittstellen für Stromanschluss

• Kompatibel mit vorhandenen einzeln abgesicherten 100/240 VAC at 50/60 Hz Ans

38000000-5 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Erfüllungsorte

Haupterfüllungsort
Bezeichnung: Helmholtz-Zentrum hereon GmbH
Kantstraße 55
14513 Teltow

Fristen

Frist zur Einreichung von Aufklärungsfragen (u.a.) 06.08.2026
Angebotsfrist 13.08.2026 12:00 Uhr
Zuschlags-/Bindefrist 28.08.2026

Wertung

Wertungsmethode der Vergabe

Wirtschaftlich günstigstes Angebot gemäß der im Anschreiben oder den Vergabeunterlagen angegebenen Kriterien.

Lose

Die Vergabe ist nicht in Lose aufgeteilt.

Vergabeunterlagen

Postalischer Versand: Nein
Elektronisch: Ja, mittels Vergabemarktplatz "VMP Brandenburg"
URL zu den Auftragsunterlagen: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXU1YYDYT12865GS/documents

Angebote

Beginn der Angebotsöffnung: 13.08.2026 12:00 Uhr

Art der akzeptierten Angebote: Elektronisch in Textform
URL zur Abgabe elektronischer Angebote: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXU1YYDYT12865GS

Zugriff auf Preisdokumente bis zur manuellen Freigabe während der Angebotsprüfung/-wertung sperren (Zwei-Umschlags-Verfahren): Nein
Eingabemöglichkeiten zu Angebotspreisen für Unternehmen innerhalb des Bietertools sperren: Nein

Angebote sind in Form von elektronischen Katalogen einzureichen oder müssen einen elektronischen Katalog enthalten: Nein
Forderung von Proben und Mustern: Nein
Besondere Anforderungen zu Unterauftragnehmern: Die Namen der Nachunternehmer sind bereits bei der Angebotsabgabe anzugeben: Nein

Nebenangebote werden nicht zugelassen.

Verfahren/Sonstiges

Sonstige Informationen für Bieter/Bewerber

Allgemeine Einkaufsbedingungen des Hereons

Bitte beachten Sie bei der Erstellung Ihres Angebotes die bei der Auftragsvergabe ausschließlich geltenden Allgemeinen Einkaufsbedingungen (einzusehen unter: www.hereon.de/AEB)[Stand: 02.04.2025]

Mit der Abgabe eines Angebotes erklärt der Bieter:

1. dass Ihm bekannt ist, dass abweichende oder weitere eigene Vertragsbedingungen nicht zum Bestandteil des Vertrages werden und den Ausschluss des Angebotes von der Wertung zur Folge haben kann,
2. dass von Ihm bei der Auftragsausführung die für Hereon geltenden rechtlichen Verpflichtungen einhalten werden,
3. dass der Bieter seinen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern und Abgaben sowie der Beiträge zur Sozialversicherung nachkommen ist,
4. dass der Bieter die arbeitsschutzrechtlichen Regelungen einhält und seinen Arbeitnehmerinnen und Arbeitnehmern wenigstens diejenigen Mindestarbeitsbedingungen einschließlich des Mindestentgelts gewährt, die nach dem Mindestlohngesetz, einem nach Tarifvertragsgesetz mit den Wirkungen des Arbeitnehmerentsendegesetzes für allgemein verbindlich erklärten Tarifvertrag oder einer nach § 7, § 7a oder § 11 des Arbeitnehmerentsendegesetzes oder einer nach § 3a des Arbeitnehmerüberlassungsgesetzes erlassenen Rechtsverordnung für die betreffende Leistung verbindlich vorgegeben werden,
5. dass der Bieter bei der Ausführung öffentlicher Aufträge nicht gegen geltende Umwelt-, Sozial- oder arbeitsrechtliche Verpflichtungen verstoßen hat bzw. wird,
6. dass kein Interessenskonflikt bei der Beteiligung an diesem Vergabeverfahren bestehen wird, der die Unparteilichkeit und Unabhängigkeit einer für den öffentlichen Auftraggeber tätigen Person bei der Durchführung des Vergabeverfahrens beeinträchtigen könnte.
7. dass die ILO-Kernarbeitsnormen bei der Ausführung des Auftrags eingehalten wird.

Desweitern erklärt der Bieter mit Abgabe seines Angebotes auf gesondertes Anfordern des Helmholtz-Zentrum hereon GmbH zu den Punkten a) bis g) die Entsprechenden Nachweise zu erbringen.

Der Bieter versichert weiterhin, dass diese Erklärung auch für den Einsatz von Unterauftragnehmern gilt. Der Bieter ist sich bewusst, dass eine nicht fristgerechte oder unvollständige Abgabe der geforderten Erklärungen und Nachweise zum Ausschluss des Angebotes von der weiteren Wertung führt und das eine grob fahrlässige oder falsche Erklärung zur Eintragung in das Register zum Schutz fairen Wettbewerbs führen kann.

Mindestanforderungen

Die Nichterfüllung einer der in der Leistungsbeschreibung genannten Mindestanforderungen oder KO Kriterium in der Wertungstabelle führt zu einem Ausschluss des Angebotes.

Nachverhandlungsverbot

Helmholtz-Zentrum Hereon GmbH wird das Nachverhandlungsverbot beachten. Dies bedeutet, dass Nachverhandlungen grundsätzlich nicht stattfinden.

Rechnungen

Die Rechnungen sind mit durch die Anlieferungsstelle bestätigtem Lieferschein bei der Helmholtz-Zentrum hereon GmbH ausschließlich elektronisch gem. dem beiliegenden Dokument ("Anschreiben Lieferanten deutsch xRechnung") zu übermitteln. Die Bestellnummern sind auf dem Lieferschein sowie auf der Rechnung zu vermerken. Auf der Rechnung müssen zudem die Vergabenummer und das Lieferdatum vermerkt sein. Schriftwechsel zu Rechnungen ist ausschließlich per E-Mail über kreditor@hereon.de zu führen.

Hereon: Leitweg-ID 992-80187-74

Wertung der Angebote

Das Helmholtz-Zentrum hereon GmbH wird die Prüfung und Wertung der Angebote gemäß § 41 UVgO vornehmen. Das wirtschaftlichste Angebot wird wie folgt ermittelt:

1 Gemäß nachfolgender Gewichtung:

• Maximale Punktzahl erreichte Punktzahl des Bieters
• Preis, ggf. mit Unterkriterien, Gewichtung 50 %
• Preis 100
• Wertungskriterium technische Qualität, Gewichtung 50 % (Maßgeblich sind die Ausführungen zu folgenden Unterkriterien)
• Wertungstabelle 100
• Gesamtwertungssumme der Punkte 200

Bei der Berechnung wird der Wert auf 2 Stellen nach dem Komma begrenzt. Das Angebot mit der höchsten Gesamtpunktzahl der gewichteten Punkte stellt das Wirtschaftlichste dar.

Preise

Bewertet wird der Gesamtpreis gemäß Preisblatt. Der niedrigste Gesamtpreis gemäß Preisblatt erhält 100 Punkte. Für die preislich nachfolgenden Angebote wird die jeweilige Punktzahl wie folgt bestimmt:

Punkte des Bieters=(niedrigster Preis*100)/(Preis des Bieters)

Die Punktzahl wird auf zwei Nachkommastellen kaufmännisch gerundet, soweit sich hierdurch die Rangfolge der Bewertung der Angebote für dieses Zuschlagskriterium nicht ändert. Anschließend wird das Hereon die jeweiligen Punktzahlen gemäß der oben dargestellten Wertungsmatrix gewichten.

Die Hereon GmbH ist berechtigt, Angebote auszuschließen, deren Einzelpreise spekulativ abgegeben wurden. Ein spekulativer Preis liegt vor, wenn der Bieter bei einer bestimmten Leistung nicht die von ihm für diese Leistung tatsächlich verlangte Vergütung, sondern einen geringeren Preis ausweist, weil er bestimmte Kostenfaktoren, die nach seiner eigenen Kalkulation bei jener Leistung tatsächlich anfallen, auf die für andere Leistungen geforderte Vergütung umgelegt hat. Vergleichsmaßstab sind die eigenen Schätzungen des Hereon und die Vergleichspositionen anderer Bieter.

Wertungskriterium

Für das Wertungskriterium technische Qualität erfolgt die Wertung gemäß einer Gesamtdarstellung im Angebot des Bieters dabei legt Hereon Wert auf folgende Punkte:

• Hohe Vielseitigkeit bei der Bearbeitung von Proben
• Geringe thermische Belastung der Probe
• Leichte und übersichtliche Bedienbarkeit aller Komponenten
• Qualität und mechanische Stabilität der TEM-Probe durch Bereitstellung eines Verfahrens, das eine elektronenstransparente Zone (<100 nm) bei gleichzeitigem Erhalt eines stabilisierenden Proben-Außenrings (Stützrand) zur mechanischen Absicherung des Proben-Transfers ermöglicht
• Maximierung des täglichen Proben-Durchsatzes im Gesamtprozess durch optimierte Vorpräparations-Schnittstellen die die Haupt-Prozesszeit am Ionenatzer nachweislich senken
• Reproduzierbarkeit des Gesamtprozesses und die quantitative Kontrolle des finalen Ätzprozess zur Gewährleistung standardisierter Laborprozesse
• Hoher Grad der Automatisierung

Es obliegt dem Bieter in welcher Form er Hereon Informationen zu den obengenannten Punkten zur Verfügung stellt, z.B. in Form von Konzepten oder Datenblättern. Hereon wird nur solche Informationen bewerten, welche mit dem Angebot eingereicht werden.

Die Bewertung erfolgt im Wege einer vergleichenden qualitativen Betrachtung. Das bedeutet, dass das jeweils beste Angebot in diesen Kriterien nicht automatisch die für das jeweils vorgesehene maximale Punktzahl erhält. Dies gilt analog für das jeweils schlechteste Angebot. Die Angebote werden vielmehr - ähnlich wie Schulnoten - relativ zueinander anhand der Unterkriterien bewertet und entsprechend bepunktet.

1. Punkte: Ungenügende Darstellung/Leistungserwartung (ungenügend; der Bieter präsentiert eine Lösung, die die geforderten Anforderungen in allen Belangen ungenügend bzw. unzureichend erfüllt)
2. 0 Punkte: Mangelbehaftete Darstellung/Leistungserwartung (mangelhaft; der Bieter präsentiert eine Lösung, die die geforderten Anforderungen mit gewichtigen Defiziten und Schwächen in allen Belangen erfüllt)
3. 40 Punkte: Mittelmäßige Darstellung/Leistungserwartung (ausreichend; der Bieter präsentiert eine Lösung, die die geforderten Anforderungen mit weitreichenden bzw. gewichtigen Defiziten und Schwächen erfüllt)
4. 60 Punkte: Gute Darstellung/Leistungserwartung (befriedigend; der Bieter präsentiert eine Lösung, die die geforderten Anforderungen mit mehreren bzw. nicht lediglich geringfügigen Defiziten und Schwächen erfüllt)
5. 80 Punkte: Sehr gute Darstellung/Leistungserwartung (gut; der Bieter präsentiert eine Lösung, die die geforderten Anforderungen mit geringfügigen Defiziten bzw. vereinzelten Schwächen erfüllt)

100 Punkte: Hervorragende Darstellung/Leistungserwartung (sehr gut; der Bieter präsentiert eine Lösung, die die geforderten Anforderungen vollumfänglich und uneingeschränkt erfüllt)

Maximale Punktzahl: 100 Punkte

Bekanntmachungs-ID CXU1YYDYT12865GS