Abschnitt I:

I.1) IHP GmbH

Im Technologiepark 25

15236 Frankfurt an der Oder

E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com

Internet: www.ihp-microelectronics.com

I.2) Gemeinsame Beschaffung

I.4) Art des öffentlichen Auftraggebers Andere: Forschung und Entwicklung

I.5) Haupttätigkeit(en) Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1) Umfang der Beschaffung

II.1.1) Bezeichnung des Auftrags: Scattering type Scanning near Field Microscope (SNOM). Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2017-038_2

II.1.2) CPV-Code Hauptteil 38000000

II.1.3) Art des Auftrags Lieferauftrag

II.1.4) Kurze Beschreibung: Das Rasternahfeldmikroskop muss in der Lage sein, bildgebend und spektroskopisch Standardhalbleiterproben, 2-dimensionales Material (z. B. Graphen), organisches und anorganisches Material und Biomaterialien zu untersuchen. Das Arbeitsprinzip muss dem Atomkraftmikroskop (AFM), wo mittels AFM-Spitze (tip) die Probe bildgebend untersucht wird, entsprechen. Der Abbildungsfokus der Spitze liegt im Nanometerbereich. Die Plattform: Blendenfreies Nahfeldrastern für hochqualitative optische Bildgebung und Spektroskopie von Halbleitern, Biomolekülen und organischer Polymere ohne Faseroptik. Das System muss bildgebend im Bereich sub-THz bis sichtbarem Licht sein. Das System muss im konventionellen AFM modus einsetzbar sein Eine räumliche Auflösung von 10nm (vorgegeben durch die AFM Spitze) ist erforderlich. Ein modularer Aufbau des Mikroskops, mit der Fähigkeit durch weitere Module die Funktionalität zu erhöhen, ist wichtig.

II.1.6) Angaben zu den Losen Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7) Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.) Wert ohne MwSt.: 646.450,00 EUR

II.2) Beschreibung

II.2.1) Bezeichnung des Auftrags

II.2.2) Weitere(r) CPV-Code(s)

II.2.3) Erfüllungsort NUTS-Code: DE403

II.2.4) Beschreibung der Beschaffung: Atomkraftmikroskop: Für die oben beschriebene Plattform ist ein kompakter Aufbau mit einfacher, motorisierter Probeneinschleusung und Auswahl des Untersuchungsgebietes erforderlich. Es muss eine Rastergeschwindigkeit bis 20 Müm/s realisierbar sein. Ein hohes Signal/Rauschverhältnis ist bei Unterdrückung des optischen Untergrundsignales erforderlich. Dazu ist ein Tasten der AFM-Spitze (tapping) erforderlich, bei dem die Spitze nur das optische Signal und nicht den Hintergrund moduliert. Die AFM-Spitze muss bis zu einem horizontalen Winkel von 180Grad und vertikal bis 60Grad bildgebend und spektroskopisch wirksam sein. Standard AFM cantilever müssen einsetzbar sein. Optische Hellfeldmikroskopie ist erforderlich. Ein effektives Spiegeldesign zum Sammeln und Bündeln von Licht ist erforderlich. Der Aufbau muss Bildgebung und Spektroskopie ermöglichen. Die Bildgebung und Detektierung muss: Im sichtbaren, MID-IR und THz-Bereich (0.3 – 3THz) durchführbar sein. Organisches, anorganisches, halbleitendes Material und plasmonische Strukturen mittels „Mapping“ des elektrischen Feldes charakterisieren. In der Lage sein, im Nanometerbereich sowohl im sichtbarem als auch im MID-IR abbildend zu arbeiten. Interferometrisch für optische Amplituden- und Phasenbestimmung arbeiten. Amplituden- wie auch phasenspezifisch sein Für Reflektion als auch Durchstrahlung (Transmission) einsatzfähig sein. In der Lage sein, im Frequenzbereich von sub-THz bis sichtbares Licht zu detektieren. Für verschiedenste Operationen einen Strahlteiler haben, der modular und auswechselbar aufgebaut ist. Im Durchstrahlungsmodus die Probe von der Rückseite beleuchten. Dazu ist die Beleuchtung mit planarem Licht erforderlich. Nahfeldbelichtungseinheit mit 633nm Wellenlänge haben. Nahfeldbelichtungseinheit mit einer durchstimmbaren Wellenlänge zwischen 9,3Müm – 10,8Müm haben. Nahfeldspektroskopie für fouriertransformietres Infrarot (FTIR) Nahfeld nanoFTIR ist erforderlich. Mit einer durchstimmbaren FTIR-Lichtquelle zwischen 5 – 15Müm. Das FTIR Modul muss zur gleichzeitigen Bestimmung des Brechungsindexes und der Absorption einsetzbar sein. Ein hohes Signal/Rauschverhältnis muss durch Entkoppeln des Hintergrundrauschens vom spektroskopischen Signal erreicht werden. TeraHertz zeitbasierte Spektroskopie (THZ-TDS) Das Gerät muss zur Nahfeldbildgebung und -spektroskopie in der Lage sein. Die Messfrequenzen liegen zwischen 0,1 THZ und 3 THz. Das Gerät muss zur zeitbasierten Spektroskopie in der Lage sein. Das Gerät muss dafür einen Femtosekundenlaser einsetzen. Kontrollsystem und Software Es ist ein motorisiertes System zur Probenpositionierung erforderlich. Das Gerät darf keine zusätzliche Vakuumkammer zur Messung erfordern. Die optische Signalverarbeitungseinheit und der Scancontroller müssen synchron mit der AFM Mechanik und dem optischen Signal sein. Die Software und Signalprozessierung muss in der Lage sein, das optische Untergrundsignal zu unterdrücken. Entsprechend muss Software für optische Bildgebung und der Spektroskopiemodule vorhanden sein. Eine Echtzeitvisualisierung ist erforderlich. Kontroll- und Scansoftware für AFM und optische Signale ist erforderlich. Die Kontroll- und Datenverarbeitungseinheit muss 1D, 2D und 3D Scans unterstützen. Es ist Software zur Datenvisualisierung und Analyse der AFM-Topografie und optischen Nahaufnahme erforderlich. Zur nutzerfreundlichen Echtzeitarbeit sind 2 Displays mit 23Zoll erforderlich. Es muss ein Fernzugriff durch den Nutzer integriert sein, ebenso ist eine Bedienungsanleitung für Hard- und Software einschließlich technischer Spezifikation erforderlich.

II.2.5) Zuschlagskriterien Kostenkriterium - Name: Preis / Gewichtung: 40 % Kostenkriterium - Name: Funktionalität entsprechend Anforderungen in der Leistungsbeschreibung / Gewichtung: 60 %

II.2.11) Angaben zu Optionen Optionen: nein

II.2.13) Angaben zu Mitteln der Europäischen Union Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14) Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1) Beschreibung

IV.1.1) Verfahrensart Offenes Verfahren

IV.1.3) Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.6) Angaben zur elektronischen Auktion

IV.1.8) Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA) Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein

IV.2) Verwaltungsangaben

IV.2.1) Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

IV.2.8) Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9) Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe Auftrags-Nr.: 2171705 Bezeichnung des Auftrags: Scattering type Scanning near Field Microscope (SNOM) Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

V.2) Auftragsvergabe

V.2.1) Tag des Vertragsabschlusses 01.11.2017

V.2.2) Angaben zu den Angeboten Anzahl der eingegangenen Angebote: 2 Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3) Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde Neaspec GmbH Martiensried Deutschland NUTS-Code: DE212 Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein

V.2.4) Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.) Gesamtwert des Auftrags/Loses: 646.450,00 EUR

V.2.5) Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3) Zusätzliche Angaben

I.1) Name und Adressen: Nationale Identifikationsnummer: 2017/S 112-225014

VI.4) Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1) Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten Heinrich-Mann-Allee 107 Potsdam 14473 Deutschland

VI.4.2) Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren

VI.4.3) Einlegung von Rechtsbehelfen

VI.4.4) Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

VI.5) Tag der Absendung dieser Bekanntmachung Tag: 20.11.2017