1.1 Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Hansastraße 27c

80686 München

E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de

2. Verfahren

2.1 Verfahren Titel: High resolution inline electron microscope (IPMS-CNT09.1; IPMS-CNT09.4, IPMS-CNT09.5) - PR870350-2480-P Beschreibung: High resolution inline electron microscope (IPMS-CNT09.1; IPMS-CNT09.4, IPMS-CNT09.5) Kennung des Verfahrens: 4e3ea660-a319-4d52-94d0-ce70ad34a1f6 Interne Kennung: PR870350-2480-P Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren Das Verfahren wird beschleunigt: nein

2.1.1 Zweck Art des Auftrags: Lieferungen Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

2.1.2 Erfüllungsort Stadt: Dresden Postleitzahl: 01109 Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21) Land: Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU vgv -

2.1.6 Ausschlussgründe Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften: Korruption: Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung: Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs: Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen: Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung: Betrugsbekämpfung: Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels: Zahlungsunfähigkeit: Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen: Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter: Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten.: Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren: Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens: Schwere Verfehlung im Rahmen der beruflichen Tätigkeit: Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen: Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen: Zahlung der Sozialversicherungsbeiträge: Einstellung der gewerblichen Tätigkeit: Entrichtung von Steuern: Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten: Rein innerstaatliche Ausschlussgründe:

5. Los

5.1 Los: LOT-0000 Titel: High resolution inline electron microscope (IPMS-CNT09.1; IPMS-CNT09.4, IPMS-CNT09.5) - PR870350-2480-P Beschreibung: 1 Stück High resolution inline electron microscope bestehend aus Main unit incl.detectors & cameras (IPMS-CNT09.1), Enclosures, compressors & chiller (IPMS-CNT09.4) und Non-conductive material coating (optional; IPMS-CNT09.5) Die Leistungsbeschreibung (TS) beschreibt die Anforderungen an ein hochauflösendes Elektronenmikroskop, das für die Analyse von Halbleiterproben in vollständiger Reinraumumgebung (CRE - inline) geeignet ist. Das Elektronenmikroskop besteht aus der Haupteinheit mit Elektronensäule, -quelle, -kammer, -tisch, mehreren angeschlossenen Elektronendetektoren sowie Kameras für HR-Imaging, Elementar- und Beugungsanalyse, die das gesamte Spektrum an Charakterisierungs- und Zuverlässigkeitsprüfungen ermöglicht. Kühleinheit(en), Kompressoren, Pumpen und elektronische Einheiten gewährleisten das Vakuum für die Elektronensäule sowie präzise und stabile Betriebsbedingungen für das System. Mehrere Gehäuse dienen als Barriere für störende äußere Faktoren wie EMR-Interferenzen und akustische/mechanische Vibrationen. Optionale Leistungspositionen: 17.1 Erweiterte Gewährleistung Verlängerung der Gewährleistungszeit um weitere 12 Monate 17.2 Vibrationskompensation Integrierte oder externe Systemoption zur Minimierung von Störungen durch z.B. Bodenvibrationen 17.3 EMI-Kompensation Integrierte oder externe Systemoption zur Minimierung von Störungen aufgrund von EMI 17.4 Präzessions-Elektronenbeugung (PED) Optionale Systemkomponenten zur Durchführung von PED am Hauptsystem; Hardware & Software - Bitte geben Sie an, welche Komponenten zu einem späteren Zeitpunkt nachgerüstet werden können und welche nicht. 17.5 Elektronenholographie (EH) Optionale Systemkomponenten zur Durchführung von Elektronenholographie auf dem Hauptsystem; Hardware & Software - Bitte geben Sie an, welche Komponenten zu einem späteren Zeitpunkt nachgerüstet werden können und welche nicht. 17.6 Dehnungsanalyse (SA) Optionale Systemkomponenten zur Durchführung von Dehnungsanalysen auf dem Hauptsystem; Hardware & Software - Bitte geben Sie an, welche Komponenten zu einem späteren Zeitpunkt nachgerüstet werden können und welche nicht. 17.7 NanoBeam-Diffraction (NBD) Optionale Systemkomponenten zur Durchführung von Nano-Beam-Diffraction-Experimenten am Hauptsystem; Hardware & Software - Bitte geben Sie an, welche Komponenten zu einem späteren Zeitpunkt nachgerüstet werden können und welche nicht. 17.8 Feldfreier Modus (Lorentz) Optionale Systemkomponenten, die eine feldfreie Abbildung im STEM- und TEM-Modus ermöglichen. Unterscheiden Sie im Angebot zwischen der korrigierten Version für STEM und der unkorrigierten Version. Hardware & Software - Bitte geben Sie an, welche Komponenten zu einem späteren Zeitpunkt aufgerüstet werden können und welche nicht. 17.9 "Additional Alignment option" - Weitere Ausrichtung der HT-Werte im Werk neben den mitgelieferten 17.10 "Zusätzlicher Scan Controller (REVOLON TEM Scan Controller pointElectronic GmbH)" Unabhängige Steuerung von Bildscan-Optionen während der STEM-Analyse; Bitte geben Sie Kompatibilität und Integration an. 17.11 Alternative Kamera- und/oder Detektorlösung 4D-STEM (Quantum Detectors: Merlin EM) Alternative Lösung zur mitgelieferten; Integration muss möglich sein (Kompatibilität); 17.12 Alternative Kamera Imaging/4D-STEM (Dectris: ARINA) Alternative Lösung zur eingebauten; Integration muss möglich sein (Kompatibilität); 19.1 "Nichtleitende Materialbeschichtung (Quantum Design: Q150V - ESPlus)" Sputter-Beschichtungsanlage für die C- und Metallabscheidung zur Probenvorbereitung von nichtleitenden Proben. Bitte umfassen Sie einen Kohlenstoff-Stabkopf, eine Dickenüberwachung, einen Tisch für die Winkeleinstellung und W-Target/s als Sputtermetall. 19.2 "Beschichtung nichtleitender Materialien (Leica Microsystems: EM ACE600)" Sputter-Beschichtungssystem für die C- und Metallabscheidung zur Probenvorbereitung von nichtleitenden Proben. Bitte Glimmentladungseinheit, Tisch mit 3 motorisierten Achsen und W-Target/s als Sputtermetall enthalten. Interne Kennung: LOT-0000

5.1.1 Zweck Art des Auftrags: Lieferungen Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

5.1.2 Erfüllungsort Stadt: Dresden Postleitzahl: 01109 Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21) Land: Deutschland

5.1.3 Geschätzte Dauer Laufzeit: 23 Monate

5.1.6 Allgemeine Informationen Vorbehaltene Teilnahme: Teilnahme ist nicht vorbehalten. Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung

5.1.9 Eignungskriterien Kriterium: Art: Eignung zur Berufsausübung Beschreibung: siehe Vergabeunterlagen Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen Kriterium: Art: Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen Kriterium: Art: Technische und berufliche Leistungsfähigkeit Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen Kriterium: Art: Sonstiges Beschreibung: Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien (URL): vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-1957f2699b8-5ef74463436917a1 Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen

5.1.10 Zuschlagskriterien Kriterium: Art: Qualität Bezeichnung: Technische Ausführung Beschreibung: Technische Ausführung Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau) Zuschlagskriterium — Zahl: 35 Kriterium: Art: Qualität Bezeichnung: Anlagendemonstration Beschreibung: Anlagendemonstration Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau) Zuschlagskriterium — Zahl: 20 Kriterium: Art: Qualität Bezeichnung: Lieferzeit Beschreibung: Lieferzeit Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau) Zuschlagskriterium — Zahl: 10 Kriterium: Art: Preis Bezeichnung: Preis Beschreibung: Preis Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau) Zuschlagskriterium — Zahl: 35

5.1.11 Auftragsunterlagen Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch Internetadresse der Auftragsunterlagen: vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails&

5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe Bedingungen für die Einreichung: Elektronische Einreichung: Zulässig Adresse für die Einreichung: vergabe.fraunhofer.de Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch, Englisch Elektronischer Katalog: Nicht zulässig Varianten: Nicht zulässig Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Zulässig Frist für den Eingang der Teilnahmeanträge: 22/04/2025 10:00:00 (UTC+2) Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können: Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden. Zusätzliche Informationen: Siehe Vergabeunterlagen Auftragsbedingungen: Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen. Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig Aufträge werden elektronisch erteilt: ja Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja

5.1.15 Techniken Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem Elektronische Auktion: nein

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes Informationen über die Überprüfungsfristen: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB). Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 TED eSender: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)

8. Organisationen

8.1 ORG-7001 Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Registrierungsnummer: DE 129515865 Postanschrift: Hansastraße 27c Stadt: München Postleitzahl: 80686 Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212) Land: Deutschland Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de Telefon: +49891205-0 Internetadresse: vergabe.fraunhofer.de Profil des Erwerbers: vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ Rollen dieser Organisation: Beschaffer Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt

8.1 ORG-7004 Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes Registrierungsnummer: t:022894990 Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16 Stadt: Bonn Postleitzahl: 53113 Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22) Land: Deutschland E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de Telefon: +49 228 9499-0 Rollen dieser Organisation: Überprüfungsstelle

8.1 ORG-7005 Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Registrierungsnummer: DE-129515865 Postanschrift: Hansastraße 27c Stadt: München Postleitzahl: 80686 Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212) Land: Deutschland E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de Telefon: +49 89 1205-0 Internetadresse: www.fraunhofer.de Rollen dieser Organisation: Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt

8.1 ORG-7006 Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83 Stadt: Bonn Postleitzahl: 53119 Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22) Land: Deutschland E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de Telefon: +49228996100 Rollen dieser Organisation: TED eSender Informationen zur Bekanntmachung Kennung/Fassung der Bekanntmachung: d87d36bf-f49c-4edc-af19-0375e66366a5 - 01 Formulartyp: Wettbewerb Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung Unterart der Bekanntmachung: 16 Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 18/03/2025 09:32:39 (UTC+1) Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 175725-2025 ABl. S – Nummer der Ausgabe: 55/2025 Datum der Veröffentlichung: 19/03/2025