1.1 Institut für Oberflächen- und Schichtanalytik GmbH
Trippstadter Str. 120
67663 Kaiserslautern
E-Mail: wahl@ifos.uni-kl.de

2. Verfahren

2.1 Verfahren

Titel: ToF-SIMS 2026 (Neuausschreibung)
Beschreibung: Gegenstand des Beschaffungsvorhabens ist die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme sowie betriebsbereite Übergabe eines Systems zur Sekundärionen-Massenspektrometrie mit Flugzeit-Massenspektrometer (ToF-SIMS) einschließlich Einweisung/Schulung und vollständiger Systemdokumentation.
Kennung des Verfahrens: 401e924a-b339-421f-a783-f2582df2c552
Interne Kennung: 26-1004
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein

2.1.1 Zweck

Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38433100 Massenspektrometer

2.1.2 Erfüllungsort

Trippstadter Straße 120, 67663 Kaiserslautern
Land, Gliederung (NUTS): Kaiserslautern, Kreisfreie Stadt (DEB32)
Land: Deutschland

2.1.4 Allgemeine Informationen

Zusätzliche Informationen: #Bekanntmachungs-ID: CXP4DNMMJWV#
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

2.1.6 Ausschlussgründe

Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung
Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen:
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung:
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten:
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung:
Betrug:
Korruption:
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels:
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern:
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen:
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen:
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen:
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen:
Zahlungsunfähigkeit:
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter:
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit:
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften:
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten:
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs:
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren:
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens:
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen:
Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren:

5. Los

5.1 Los: LOT-0001

Titel: ToF-SIMS 2026 (Neuausschreibung)
Beschreibung: Das System wird als zentrale Analyseplattform für hochaufgelöste chemische Oberflächencharakterisierung, bildgebende Analytik (2D-Imaging) sowie Tiefenprofilierung und 3D-Rekonstruktion eingesetzt. Es dient wissenschaftlichen und anwendungsnahen Fragestellungen in der industriellen und universitären Forschung sowie der Auftragsforschung und wird in Kooperationsprojekten mit Industriepartnern und Forschungseinrichtungen genutzt. Im Institut werden Proben mit stark variierenden Eigenschaften untersucht. Diese unterscheiden sich insbesondere hinsichtlich Materialklassen (z. B. Metalle und Legierungen, Halbleiter, Gläser, Keramiken, Polymere), Geometrie, Oberflächenzustand, Kontaminations- und Schichtsystemen sowie analytischer Fragestellungen. Ein besonderer Schwerpunkt liegt auf der Analyse von Oberflächen und Schichtsystemen, inklusive der Identifikation komplexer Spezies und der quantitativen/vergleichenden Bewertung von Signalen über Messreihen hinweg. Zur Sicherstellung reproduzierbarer und nachvollziehbarer Ergebnisse muss das System einen stabilen UHV-Betrieb, eine hohe Massenauflösung/Massengenauigkeit, eine hohe laterale Auflösung für bildgebende Verfahren sowie einen kontrollierten Materialabtragung für Tiefenprofile bereitstellen. Darüber hinaus ist eine strukturierte Erfassung und Exportfähigkeit von Messdaten und Metadaten in gängige, nicht-proprietäre Formate erforderlich, um Anforderungen an Nachvollziehbarkeit, Langzeitverfügbarkeit und Forschungsdatenmanagement (FAIR-Prinzipien) zu erfüllen. Das System muss mindestens folgende Komponenten/Funktionen umfassen (funktionsorientiert; Umsetzung herstellerunabhängig zulässig, sofern Anforderungen erfüllt sind):

• UHV-Analysekammer (Rezipient) für optimierte Vakuumbedingungen incl. Probenschleuse, geeigneter Probenhandhabung und Beobachtungsmöglichkeit in Analyseposition (Kamera/Optik oder funktional gleichwertig).
• ToF-Massenspektrometer einschließlich MS/MS-Funktionalität (Tandem-MS) oder funktional gleichwertiger Lösung zur verbesserten Identifikation/Strukturaufklärung.
• Analyse-Ionenquelle (z. B. Bi-LMIG-basiert oder funktional gleichwertig) zur hochauflösenden, bildgebenden SIMS-Analyse.
• Sputter-Ionenquelle(n) für kontrollierten Materialabtrag/Tiefenprofilierung (z.B. Cs und O2/Ar Ionenkanone oder funktional gleichwertig) mit stabiler Stromabgabe über lange Messzeiten.
• Cluster-Ionenquelle (z. B. Ar-Cluster, ggf. O2-Cluster oder funktional gleichwertig), inkl. Option zur Analyse/Imaging-Nutzung, soweit gefordert.
• FIB-Funktion zum Schneiden und zur Tomografie in der Analyseposition mittels zusätzlicher LMIG- Quelle
• Ladungskompensation (Electron Flood Gun oder funktional gleichwertig).
• Probenhalter-Grundausstattung inkl. Montagematerial sowie definierte Möglichkeiten zur Aufnahme großer Proben (insb. Wafer bis 300 mm).
• Gasinstallationen/Versorgung für die im System integrierten Quellen (Arbeitsgase) inkl. erforderlicher sicherheitstechnischer Komponenten.
• Steuer- und Auswertesoftware inkl. Lizenzen; Offline-Auswertung auf separaten Rechnern muss möglich sein.
• Steuerrechner (Windows 11 Pro, LAN-Anbindung, Remote-Nutzung oder gleichwertige), kompatible Bereitstellung gemäß IT-Anforderungen.

Interne Kennung: 26-1004

5.1.1 Zweck

Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38433100 Massenspektrometer

5.1.2 Erfüllungsort

Trippstadter Straße 120, 67663 Kaiserslautern
Land, Gliederung (NUTS): Kaiserslautern, Kreisfreie Stadt (DEB32)
Land: Deutschland

5.1.3 Geschätzte Dauer

Andere Laufzeit: Unbekannt

5.1.6 Allgemeine Informationen

Vorbehaltene Teilnahme: Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein

5.1.7 Strategische Auftragsvergabe

Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung

5.1.9 Eignungskriterien

Quellen der Auswahlkriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung des Auswahlkriteriums: Eignungskriterium ist die Vorlage von 3 Referenzen zu vergleichbaren Installationen (Lieferung und Inbetriebnahme eines ToF-SIMS oder eines funktional vergleichbaren Systems)

5.1.10 Zuschlagskriterien

Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Für das Zuschlagskriterium Preis erhält das Angebot mit dem niedrigsten (gewerteten) Preis 5 Punkte. Null Punkte erhält ein fiktives Angebot mit dem Doppelten des niedrigsten (gewerteten) Angebotspreises. Alle Angebote mit einem Angebotspreis über dem Doppelten des niedrigsten (gewerteten) Angebotspreises erhalten ebenfalls null Punkte. Die Punktebewertung für die dazwischenliegenden Angebotspreise erfolgt über eine lineare Interpunktion mit 4 Stellen hinter dem Komma.
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 40

Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technische Qualität, Leistungsfähigkeit, Service und Projektumsetzung
Beschreibung: Für das Zuschlagskriterium Technische Qualität, Leistungsfähigkeit, Service und Projektumsetzung werden ausschließlich die nachgewiesenen technischen Leistungsparameter von im Dokument 09.Wertungsmatrix Abschnitt 2 (technische Übererfüllung (wertungsrelevant)) genannten Anforderungen bewertet. Die einzelnen Anforderungen werden einzeln nach der nachfolgenden Punkteskala bewertet: 0 Punkte: Kein Beitrag zur Verbesserung oder keine Angabe bzw. kein nachweisbarer Leistungsinhalt. 1 Punkt: Geringer Mehrwert mit eingeschränkter praktischer Relevanz. 2 Punkte: Erkennbarer Mehrwert, jedoch mit begrenztem Funktionsumfang oder eingeschränkter Integration. 3 Punkte: Deutlicher Mehrwert mit praxistauglicher Ausgestaltung und nachvollziehbarer Integration. 4 Punkte: Hoher Mehrwert mit erweitertem Funktionsumfang, guter Integration und klarer Leistungssteigerung. 5 Punkte: Sehr hoher Mehrwert, der deutlich über den marktüblichen Stand der Technik im relevanten Anwendungsbereich hinausgeht, mit umfassender Funktionalität, sehr guter Integration und erheblichem Nutzen für den vorgesehenen Einsatz. Das Zuschlagskriterium wird ermittelt, indem die Wertungspunkte der einzelnen Anforderungen jeweils mit dem festgelegten Gewichtungsfaktor gemäß Dokument 06. Wertungsmatrix, Abschnitt 2 (technische Übererfüllung (wertungsrelevant)), multipliziert und anschließend aufsummiert werden.
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 60

5.1.11 Auftragsunterlagen

Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 14/07/2026 23:59:59 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4DNMMJWV/documents
Ad-hoc-Kommunikationskanal: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4DNMMJWV

5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe

Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Adresse für die Einreichung: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4DNMMJWV
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Elektronischer Katalog: Zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 21/07/2026 23:59:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss: 49 Tage

Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können: Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.

Zusätzliche Informationen: Die Vergabestelle behält sich vor, fehlende Angaben und Erklärungen nachzufordern. Ein Anspruch der Bieter besteht nicht (§ 56 VgV). Angebote, die nicht die geforderten oder gegebenenfalls nachgeforderten Erklärungen und Nachweise enthalten, werden nach § 57 Abs. 1 Nr. 2 VgV ausgeschlossen.

Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein

5.1.15 Techniken

Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem

5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung

Überprüfungsstelle: Vergabekammer Rheinland-Pfalz, c/o Ministerium für Wirtschaft, Tourismus, Energie und Klima des Landes Rheinland-Pfalz

Informationen über die Überprüfungsfristen: Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Abs. 6 GWB durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. Der Antrag ist unzulässig, soweit

• der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB bleibt unberührt,
• Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
• Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
• mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.

Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Abs. 1 Nr. 2 GWB. § 134 Abs. 1 Satz 2 GWB bleibt unberührt.

Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Institut für Oberflächen-und Schichttechnik GmbH
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Institut für Oberflächen-und Schichttechnik GmbH

8. Organisationen

8.1 ORG-0001

Offizielle Bezeichnung: Institut für Oberflächen-und Schichttechnik GmbH
Registrierungsnummer: UStID DE 148 647 541
Trippstadter Straße 120, 67663 Kaiserslautern
Land, Gliederung (NUTS): Kaiserslautern, Kreisfreie Stadt (DEB32)
Land: Deutschland
E-Mail: wahl@ifos.uni-kl.de
Telefon: +49 (0) 631 20573-0

Rollen dieser Organisation: Beschaffer, Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt, Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt

8.1 ORG-0002

Offizielle Bezeichnung: eureos gmbh steuerberatungsgesellschaft rechtsanwaltsgesellschaft
Registrierungsnummer: UStID DE267215971
Kramergasse 4, 01067 Dresden
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
E-Mail: l.moerchen@eureos.de
Telefon: +49 (0) 391 5628 6912

Rollen dieser Organisation: Beschaffungsdienstleister

8.1 ORG-0003

Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Rheinland-Pfalz, c/o Ministerium für Wirtschaft, Tourismus, Energie und Klima des Landes Rheinland-Pfalz
Registrierungsnummer: 07-0001801100000-05
Stiftsstraße 9, 55116 Mainz
Land, Gliederung (NUTS): Mainz, Kreisfreie Stadt (DEB35)
Land: Deutschland
E-Mail: vergabekammer.rlp@mwvlw.rlp.de
Telefon: +49 (0) 6131 16-2234

Rollen dieser Organisation: Überprüfungsstelle

8.1 ORG-0004

Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
53119 Bonn
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon: +49228996100

Rollen dieser Organisation: TED eSender

11. Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung: ff04d1ac-8ba1-4397-89df-e154975ad580 - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 19/06/2026 14:53:25 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 427803-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 118/2026
Datum der Veröffentlichung: 22/06/2026