I.1) Bergische Universität Wuppertal

Gaußstr. 20

42119 Wuppertal

E-Mail: mailto: dez6vergabe@uni-wuppertal.de

Internet: www.uni-wuppertal.de/de/

I.2) Informationen zur gemeinsamen Beschaffung Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben

I.4) Art des öffentlichen Auftraggebers Andere: Universität

I.5) Haupttätigkeit(en) Bildung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1) Umfang der Beschaffung

II.1.1) Bezeichnung des Auftrags: Analytisches Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit integriertem Rastersondenmikroskop Referenznummer der Bekanntmachung: D622001

II.1.2) CPV-Code Hauptteil 38511100 Rasterelektronenmikroskope

II.1.3) Art des Auftrags Lieferauftrag

II.1.4) Kurze Beschreibung: Es soll ein analytisches Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit integriertem Rastersondenmikroskop zur Analyse neuartiger, im Rahmen der Forschungsarbeiten am Zentrum hergestellter Materialien, beschafft werden. Das Gerät soll einen sehr guten Materialkontrast bei der Detektion von Sekundär- und Rückstreuelektronen ermöglichen. Lokale chemische Analysen sollen mit Hilfe der energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDX) hochortsaufgelöst erfolgen. Eine Erfassung von örtlichen kristallinen Eigenschaften ist über Elektronenrückstreubeugung (EBSD) geplant. Dazu ist eine kontrollierte fokussierte Ionenstrahlpräparation der Probenoberfläche erforderlich. Das integrierte Rastersondenmikroskop soll korrelierte Analysen ermöglichen, z.B. neben der Aufnahme der Topographie unter anderem eine Messung der elektronischen und thermischen Eigenschaften. Der Vorteil der Kombination von einem Rasterelektronen- und Rastersondenmikroskop in einem Gerät besteht darin, dass der Elektronenstrahl und die Rastersonde sowohl als Detektor, zur Erfassung von unterschiedlichen lokalen Wechselwirkungsprodukten an der gleichen Probenstelle, als auch als Aktuatoren, zur Modifizierung von örtlichen Probeneigenschaften, verwendet werden können. Diese Hybridmesstechniken geben im Gegensatz zu rein rasterelektronen- bzw. rein rastersondenmikroskopischen Verfahren Zugang zu einer Vielzahl von weiteren relevanten Probeneigenschaften mit höchster Ortsauflösung.

II.1.6) Angaben zu den Losen Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7) Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.) Wert ohne MwSt.: 1.490.000,00 EUR

II.2) Beschreibung

II.2.1) Bezeichnung des Auftrags

II.2.2) Weitere(r) CPV-Code(s) 38514200 Rastersondenmikroskope

II.2.3) Erfüllungsort NUTS-Code: DEA1A Hauptort der Ausführung: Bergische Universität Wuppertal Campus Freudenberg Rainer-Gruenter-Straße 21 42119 Wuppertal Der Aufstellort befindet sich im Erdgeschoss (in der Anlieferungszone ist der Zugang unmittelbar mit einem LKW erreichbar) des Gebäude FG auf dem Campus Freudenberg.

II.2.4) Beschreibung der Beschaffung: - Lieferung, Aufbau und umweltgerechte Entsorgung der Verpackungen müssen im Angebot enthalten sein. - Das Gerät muss als Neugerät angeboten werden. - Support via Telefon oder Videokonferenz mindestens zu den üblichen Geschäftszeiten (Mo.-Fr. 09:00 - 17:00 Uhr). - Mindestens 12 Monate Garantie für alle Komponenten. - Vollständige Ersatzteilverfügbarkeit muss für mindestens 10 Jahre bestehen. - Das Gerät muss eine Abbildung mit einer Ortsauflösung < 1 nm bei hohen Primärelektronenenergien von > 15 keV und einer Ortsauflösung < 1,5 nm bei geringen Beschleunigungsenergien < 1 keV gewährleisten. - Eine Vorrichtung zur Bereinigung von Kontaminationen auf der Probenoberfläche muss vorhanden sein. - Das Gerät muss über Inlens-Sekundär-, Inlens-Rückstreuelektronen- als auch über einen STEM-Detektor Detektoren verfügen. - Das Gerät muss mit einem zusätzlichen Sekundärelektronen-Detektor ausgestattet sein. - Das Gerät muss eine Elektronenstrahllithographie von Nanometer Bauelementen ermöglichen. - Das Gerät muss über eine EDX-Mikroanalyse verfügen. - Das Gerät muss eine zuverlässige Detektion von Elementen mit niedrigen Ordnungszahlen (> Be) gewährleisten. Punktanalysen und Mapping müssen möglich sein. - Das Gerät muss eine Datenbank besitzen, die eine Zuordnung zahlreicher Materialspektren erlaubt. - Das Gerät muss für elektrisch schlecht leitende Materialien die Möglichkeit besitzen, Probenaufladungen durch den Primärelektronenstrahl bei hohen Energien zu vermeiden. - Das Gerät muss mit einem EBSD-System mit schneller Detektionseinheit ausgestattet sein. - Das Gerät muss gewährleisten, dass örtliche kristalline Eigenschaften erfasst werden können. Punktanalyse und Mapping müssen möglich sein. - Für EBSD, Tomographie- und Querschnittsanalysen von Schichtsystemen muss das Gerät mit einem vollständig integrierten FIB-System ausgestattet sein. - Das FIB-System muss es erlauben, lokal Nanometer-Schichten schrittweise abzutragen (Tomographie). - Das System muss einen Sekundär-Ionen-Detektor besitzen. - Es muss eine in situ Probenpräparationsmöglichkeit zur Verfügung stehen. - Es muss ein System zur Unterstützung von Ätzprozessen bei dickeren Probenstrukturen vorhanden sein. - Das Gerät muss mit einem integrierbaren Rastersondenmikroskop ausgestattet sein. - Es muss ein Probentransfer unter Vakuum gewährleistet sein. - Das System muss mit Hilfe einer Laserdeflektionseinheit uneingeschränkt neben der Erfassung der Topographie die Möglichkeit besitzen, AFM-basierte Nanoanalysen, wie z.B. KPFM, c-AFM und SThM, durchzuführen. - Das Gerät muss ein Proben-Schleuse-System besitzen, welches einen Probentransfer aus einer Handschuhbox unter Schutzgas ins Gerät gewährleistet, ohne die Proben an Luft auszusetzen. - Das Proben-Schleuse-System muss auch im Rastersondenmikroskop-Betrieb den Probentransfer aus einer Handschuhbox unter Schutzgas ins Gerät gewährleisten, ohne die Proben an Luft auszusetzen. - Das Gerät muss ein CE-Zertifikat und eine Röntgenzulassung bzw. Bauartzulassung nach RöV Richtlinien besitzen.

II.2.5) Zuschlagskriterien Qualitätskriterium - Name: Erfüllungsgrad des Leistungsverzeichnisses / Gewichtung: 50 Preis - Gewichtung: 50

II.2.11) Angaben zu Optionen Optionen: nein

II.2.13) Angaben zu Mitteln der Europäischen Union Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14) Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1) Beschreibung

IV.1.1) Verfahrensart Verhandlungsverfahren

IV.1.3) Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.6) Angaben zur elektronischen Auktion

IV.1.8) Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA) Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein

IV.2) Verwaltungsangaben

IV.2.1) Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

IV.2.2) Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge

IV.2.4) Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2022/S 140-397570

IV.2.8) Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9) Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe Auftrags-Nr.: D622001 Bezeichnung des Auftrags: Analytisches Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit integriertem Rastersondenmikroskop Ein Auftrag / Los wurde vergeben: ja

V.2) Auftragsvergabe

V.2.1) Tag des Vertragsabschlusses 14.11.2022

V.2.2) Angaben zu den Angeboten Anzahl der eingegangenen Angebote: 1 Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0 Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0 Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0 Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1 Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3) Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde Carl Zeiss Microscopy Deutschland Carl-Zeiss Str. 22 Oberkochen 73447 Deutschland NUTS-Code: DE11D Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein

V.2.4) Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.) Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: 1.490.756,00 EUR Gesamtwert des Auftrags / Loses: 1.490.000,00 EUR

V.2.5) Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3) Zusätzliche Angaben Bekanntmachungs-ID: CXPNY6NDNVF

VI.4) Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1) Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren Vergabekammer Rheinland - Spruchkörper Düsseldorf Zeughausstraße 2-10 Köln 50667 Deutschland Telefon: +49 221147-3045 E-Mail: mailto: vkrhl@bezreg-koeln.nrw.de Fax: +49 211147-2889 Internet: www.bezreg-koeln.nrw.de/brk_internet/vergabekammer/

VI.4.2) Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren

VI.4.3) Einlegung von Rechtsbehelfen

VI.4.4) Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

VI.5) Tag der Absendung dieser Bekanntmachung Tag: 15.12.2022