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Titel
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Lieferung von Rasterelektronenmikroskop (REM)
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VergabeverfahrenVergebener Auftrag
Lieferauftrag (VOL)
AuftragnehmerJEOL (Germany) GmbH
Gute Änger 30
85356 Freising
AusführungsortDE-07745 Jena
TED Nr.599096-2023
Beschreibung

Abschnitt I:


I.1) Friedrich-Schiller-Universität Jena

Fürstengraben 1

07743 Jena

Telefon: +49 3641-9412220


E-Mail: vergabestelle@uni-jena.de

Internet: www.uni-jena.de


I.2) Informationen zur gemeinsamen Beschaffung


I.4) Art des öffentlichen Auftraggebers Einrichtung des öffentlichen Rechts


I.5) Haupttätigkeit(en) Bildung


Abschnitt II: Gegenstand


II.1) Umfang der Beschaffung


II.1.1) Bezeichnung des Auftrags: Rasterelektronenmikroskop Referenznummer der Bekanntmachung: EU-OV/2023-125


II.1.2) CPV-Code Hauptteil 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)


II.1.3) Art des Auftrags rag


II.1.4) Kurze Beschreibung: Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben. Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen: - Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen - CD-Messung - Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen - Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen - Geometrische Analyse von Nanopartikeln - Abbildung von Baulementen (Chip)


II.1.6) Angaben zu den Losen Aufteilung des Auftrags in Lose: nein


II.1.7) Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.) Wert ohne MwSt.: 630.000,00 EUR


II.2) Beschreibung


II.2.1) Bezeichnung des Auftrags


II.2.2) Weitere(r) CPV-Code(s)


II.2.3) Erfüllungsort NUTS-Code: DEG03 Hauptort der Ausführung: Aufstellungsort ist der Reinraum des Leibniz-Instituts für Photonische Technologien e.V. (Leibniz-IPHT), Albert-Einstein-Str. 9 in 07745 Jena.


II.2.4) Beschreibung der Beschaffung: Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben. Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen: - Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen - CD-Messung - Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen - Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen - Geometrische Analyse von Nanopartikeln - Abbildung von Baulementen (Chip) weiteres siehe Anlage 2


II.2.5) Zuschlagskriterien Qualitätskriterium - Name: Technische Ausführung / Wirtschaftlichkeit / Gewichtung: 50 Preis - Gewichtung: 50


II.2.11) Angaben zu Optionen Optionen: nein


II.2.13) Angaben zu Mitteln der Europäischen Union Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein


II.2.14) Zusätzliche Angaben


Abschnitt IV: Verfahren


IV.1) Beschreibung


IV.1.1) Verfahrensart Offenes Verfahren


IV.1.3) Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem


IV.1.6) Angaben zur elektronischen Auktion


IV.1.8) Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA) Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein


IV.2) Verwaltungsangaben


IV.2.1) Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren


IV.2.2) Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge


IV.2.4) Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2023/S 134-426018


IV.2.8) Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems


IV.2.9) Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation


Abschnitt V: Auftragsvergabe Auftrags-Nr.: EU-OV/2023-125 Bezeichnung des Auftrags: Rasterelektronenmikroskop Ein Auftrag / Los wurde vergeben: ja


V.2) Auftragsvergabe


V.2.1) Tag des Vertragsabschlusses 29.09.2023


V.2.2) Angaben zu den Angeboten Anzahl der eingegangenen Angebote: 3 Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 2 Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0 Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0 Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 3 Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein


V.2.3) Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde Jeol (Germany) GmbH Freising Deutschland NUTS-Code: DE21B ftragnehmer ist ein KMU: nein


V.2.4) Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.) Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: 630.000,00 EUR Gesamtwert des Auftrags / Loses: 519.154,70 EUR


V.2.5) Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen


Abschnitt VI: Weitere Angaben


VI.3) Zusätzliche Angaben sorgung Altgerät 7.000 Euro Netto an Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH


VI.4) Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren


VI.4.1) Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer Jorge-Semprún-Platz 4 Weimar 99423 Deutschland


VI.4.2) Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren


VI.4.3) Einlegung von Rechtsbehelfen Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen: Rügen der Bieter, in welchen diese einen Verstoß gegen die Vorschriften im Vergabeverfahren vortragen, sind ausnahmslos (schriftlich oder per E-Mail) an die Vergabestelle zu richten. Hilft die Vergabestelle der Rüge nicht ab, wird mit Eingang des entsprechenden Antwortschreibens der Vergabestelle, eine Frist von 15 Kalendertagen in Gang gesetzt (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB), innerhalb derer der Bieter einen etwaigen Nachprüfungsantrag bei der Vergabekammer einreichen kann.


VI.4.4) Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt


VI.5) Tag der Absendung dieser Bekanntmachung Tag: 29.09.2023

VeröffentlichungGeonet Vergabe 175112 vom 06.10.2023