a) IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Im Technologiepark 25

15236 Frankfurt (Oder)

Telefon +49 335-5625-359

Fax +49 335-5625-25359

E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com

Adresse der den Zuschlag erteilenden Stelle Siehe "zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle" Stelle, die die Vergabeunterlagen abgibt oder bei der sie eingesehen werden können Siehe "zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle" Allgemeine Fach- und Rechtsaufsicht Keine Adressinformation vorhanden.

b) Auftragsgegenstand Leistungsbeschreibung Art und Umfang der Leistung Messequipment zur Messung des elektromagnetischen Feldes von Chips sowie für präzise elektromagnetische Fehlerinjektionen. Das Equipment soll es ermöglichen, Messungen von hochfrequenten Nahfeldern über integrierten Schaltkreisen (ICs) einfach, präzise und mit einer höhen Auflösung durchzuführen. Außerdem soll es auch ermöglichen, die Fehler mittels elektromagnetischen Pulsen präzis in die ICs zu injizieren. Das Equipment soll nicht nur ein Positionierungs-System beinhalten, sondern auch eine Vielfalt von elektromagnetischen Proben mit unterschiedlicher Mess-Auflösung (Frequenz-Bereich 1,5-3GHz), bis zur 50-60 Müm. Je nach den verwendeten elektromagnetischen Sonden soll das Magnet- oder das elektrische Feld von 50-100 Müm detektiert werden. Ein Bestandteil des Messequipments soll ein IC-Scanner sein, d.h. ein 4-Achsen- Positionierungssystem zur Durchführung eines integrierten Schaltkreis-Scans im Nahfeld sein. Das System sollte einen 4-Achsen-Positioniertisch, ein Mikroskop und eine Software zur Steuerung des gesamten Systems enthalten, wobei: - Positionierungsgenauigkeit 10 Müm oder noch weniger; - Genauigkeit der Positionierung für die Wiederholungs-Messungen 1 Müm oder noch weniger; CSX 21 - Bekanntmachung 06.09.2021 12:55 Uhr-VMS 9.8.1.1 Seite 1/5 © 2009 - 2021 cosinex GmbH IHP-2021-084: Messequipment zur Messung des elektromagnetischen Feldes von Chips sowie für präzise elektromagnetische Fehlerinjektionen UVGO Öffentliche Ausschreibung 06.09.2021 - weitere technische Parameter: - USB Schnittstelle; - max. Verfahrweg: 50mm x 50mm x 50mm oder mehr, wobei die #-Rotation +/-180Grad - min. Verfahrweg: 10Müm x 10Müm x 10Müm oder weniger, wobei die #-Rotation +/-1Grad - Verfahrgeschwindigkeit von 10 mm/s x 10 mm/s x 5 mm/s, wobei die Rotationsgeschwindigkeit 90Grad/s oder weniger; - einfache Vorbereitung des IC-Scanners Messungen des Magnet- oder des elektrischen Feldes; - einfache Vorbereitung des IC-Scanners für ESD- / EFD- Störfestigkeitsuntersuchungen von ICs; - automatisierte präzise Steuerung der Nahfeld- und Micro-Sonden (mind. teilweise, z.B. Drehung der Proben); - einfache Anwendung von unterschiedlichen Nahfeld- und Micro-Sonden soll einfach sein. - das Wechsel von Sonden soll einfach sein. - Kompatibilität mit Langer-Sonden, vor allem mit den folgenden Sonden: ICR HH 150-27, ICR HV 150-27 (diese Proben sind bereits ein Bestandteil unseres Messequipment und sollen weiter verwendet werden können). Eine spezielle Sondenhalterung, die diese Micro-Sonden aber auch die Sonden anderer Form als die Micro-Sonden unterstützt, die z.B. die Form eines Stiftes haben, wäre hier denkbar. - eine hochfrequenzgerechte Kontaktierung der Proben während Messungen an ICs soll gewährleistet, z.B. mittels einer Groundplane; - eine Fixierung von elektronischen Baugruppen zur einfachen Gestaltung von Messungen soll gewährleistet werden, z.B. mittels einer Universalhalterung/ Halterplatte; - kompakte Ausführung, z.B. (400 x 400 x 500) mm oder kleiner; und Gewicht bis 25 kg (d.h. das System soll zu den Demonstrationszwecken in unterschiedlichen Laboren/Orten angewendet werden können) ICs-Scanner soll die Automatisierung der Messung mittels einer Software (SW) ermöglichen. Es soll die Visualisierung der gemessenen Werte in einer Ebene (2D) oder im Volumen (3D) angeboten werden. Eine schnelle, genaue und vielfältige Verarbeitung und Analyse der Messwerte, einschließlich einen einfachen und schnellen Bild- und Datenexport (in unterschiedlichen Formate) für eine weitere (statistische/mathematische) Analyse sind die wichtige Funktionalität der Verarbeitungssoftware. Unbeding soll es ermöglicht werden, die gemessene Traces sollen als (.csv)-Datei zu speichern/exportieren. Außerdem: - SW soll eine schnelle Konfiguration eines Spektrumanalysators ermöglichen. Es soll, frequenzabhängig, 3D-Verlauf der Felder in der Umgebung des analysierten IC visualisiert werden. - SW soll die Visualisierung und Verabeitung von bis zu 300.000 Messpunkten in Echtzeit ermöglichen, wobei die Visualisierung in vielen (vordefinierten) Frequenz- Bereichen ermöglicht werden soll. - SW soll es ermöglichen, auch die elektromagnetische Traces von bestimmten Messpunkten einzeln zu analysieren, für die vordefinierten Frequenz(en). Das System soll eine breite Liste von Spektrumanalysatoren unterstützen. Das System soll eine digitale Mikroskopkamera beinhalten, die mittels des SW steuerbar ist, um z.B. eine präzise, schnelle und einfache Positionierung der Proben zu ermöglichen. Weitere Bestandteile des Messequipment sind: - horizontale Sonden für H-Feld: F= 1,5 MHz - 6 GHz , Messauflösung 70Müm F= 2,5 MHz - 6 GHz, Messauflösung 70Müm F= 2,5 MHz - 6 GHz, Messauflösung 100Müm - vertikale Sonden für H-Feld: F= 1,5 MHz - 6 GHz , Messauflösung 60Müm F= 2,5 MHz - 6 GHz, Messauflösung 60Müm F= 2,5 MHz - 6 GHz, Messauflösung 80Müm - Nahfeldmikrosonden für E-Feld: F=7 MHz - 3 GHz; Messauflösung 65Müm oder weniger - Passive und aktive Nahfeld-Handsonden, die Messungen an den Pins von ICs ermöglichen; CSX 21 - Bekanntmachung 06.09.2021 12:55 Uhr-VMS 9.8.1.1 ©2009 Seite 2/5 2021 cosinex GmbH IHP-2021-084: Messequipment zur Messung des elektromagnetischen Feldes von Chips sowie für präzise elektromagnetische Fehlerinjektionen UVGO Öffentliche Ausschreibung 06.09.2021

Erfüllungsorte Haupterfüllungsort Bezeichnung Postanschrift Ort

c) Ausführungsfristen Dauer (ab Auftragsvergabe) Fristen - Sonden für Puls-E-Feldquelle, Puls-Magnetfeldquelle und Pulsstromquelle, die es ermöglichen, schnelle transiente Pulse in ICs einzukoppeln (mit Anstiegszeit<2ns, Wiederholfrequenz 0.1 Hz - 20 kHz und alternating Polarität); - Demonstratoren für die Störaussendung von Störfestigkeits (B- und E-Felder). Wichtig: alle Nahfeldmikrosonden sollen mit einem Kalibrier-Zertifikat geliefert werden (!!!) 5 Jahre Garantie und Support; in-Betrieb-Nahme (einschl. Anschluss des Spektrumanalysators) und SW-training. IHP GmbH - Leibniz-Institutfür innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder) 1 Monat(e) Bezeichnung Datum, ggf. Uhrzeit

Frist zur Einreichung von Aufklärungsfragen (u.a.) 27.09.2021

Angebotsfrist 27.09.2021 12:00 Uhr

Zuschlags-/Bindefrist 27.10.2021

d) Wertung Wertungsmethode der Vergabe Wertungsmethode Niedrigster Preis

e) Lose Etwaige Vorbehalte wegen Teilung in Lose, Umfang der Lose und mögliche Vergabe der Lose an verschiedene Bieter Die Vergabe ist nicht in Lose aufgeteilt.

f) Nachweise / Bedingungen Auflagen zur persönlichen Lage Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit Angaben und Formalitäten, die erforderlich sind, um die Einhaltung der Auflagen zur wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit zu überprüfen -Bescheinigung in Steuersachen Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentral reg isteramt durchzuführen. Technische und berufliche Leistungsfähigkeit Referenzen: Angaben und Formalitäten, die erforderlich sind, um die Einhaltung der Auflagen zur technischen Leistungsfähigkeit zu überprüfen Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag. Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen: -Referenzgeber: CSX 21 - Bekanntmachung 06.09.2021 12:55 Uhr-VMS 9.8.1.1 Seite 3/5 © 2009 - 2021 cosinex GmbH IHP-2021-084: Messequipment zur Messung des elektromagnetischen Feldes von Chips sowie für präzise elektromagnetische Fehlerinjektionen UVGO Öffentliche Ausschreibung 06.09.2021 Sonstige Bedingungen Sonstige Bedingungen -Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer: -Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung: -Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs Wichtig: alle Nahfeldmikrosonden sollen mit einem Kalibrier-Zertifikat geliefert werden (!!!)

g) Vom Unternehmen einzureichende Unterlagen Keine Unterlagen einzureichen Vergabeunterlagen Bereitstellung der Vergabeunterlagen Postalischer Versand Nein Elektronisch URL zu den Auftragsunterlagen Zusätzliche Angaben über die Maßnahmen zum Schutz der Vertraulichkeit und der Zugriffsmöglichkeit auf die Vergabeunterlagen

h) Angebote Bedingungen für die Öffnung der Angebote Beginn der Angebotsöffnung 27.09.2021 12:00 Uhr Ort Frankfurt (Oder) Ja, mittels Vergabemarktplatz "VMP Brandenburg" Internet: http.:vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYY2A/documents Angebotsabgabe Art der akzeptierten Angebote URL zur Abgabe elektronischer Angebote Elektronisch in Textform Internet: http.:vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYY2A Zugriff auf Preisdokumente bis zur manuellen Freigabe während der Angebotsprüfung/-wertung sperren (Zwei-Umschlags- Verfahren) Eingabemöglichkeiten zu Angebotspreisen für Unternehmen innerhalb des Bietertools sperren

i) Nebenangebote Nebenangebote Verfahren/Sonstiges Angaben zum Verfahren Sonstige Informationen für Bieter/Bewerber Nein Nein werden nicht zugelassen.

j) Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg Internet: http.:vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen. CSX 21 - Bekanntmachung 06.09.2021 12:55 Uhr-VMS 9.8.1.1 Seite 4/5 © 2009 - 2021 cosinex GmbH IHP-2021-084: Messequipment zur Messung des elektromagnetischen Feldes von Chips sowie für präzise elektromagnetische Fehlerinjektionen UVGO Öffentliche Ausschreibung 06.09.2021 Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden. Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben. Bekanntmachungs-ID Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist. Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden. CXSTYYDYY2A CSX 21 - Bekanntmachung 06.09.2021 12:55 Uhr-VMS 9.8.1.1 ©2009 Seite 5/5 2021 cosinex GmbH