Abschnitt I:

I.1) Forschungsverbund Berlin e.V.

Rudower Chaussee 17

12489 Berlin

E-Mail: mailto: vergabe@fv-berlin.de

Internet: www.fv-berlin.de

I.2) Informationen zur gemeinsamen Beschaffung

I.4) Art des öffentlichen Auftraggebers Andere: eingetragener Verein

I.5) Haupttätigkeit(en) Andere Tätigkeit: Forschung im freien Feld

Abschnitt II: Gegenstand

II.1) Umfang der Beschaffung

II.1.1) Bezeichnung des Auftrags: OV_LK_Zweistrahlrastermikroskop (Plasma FIB) Referenznummer der Bekanntmachung: IKZ-2023-0024

II.1.2) CPV-Code Hauptteil 38511100 Rasterelektronenmikroskope

II.1.3) Art des Auftrags Lieferauftrag

II.1.4) Kurze Beschreibung: Das Leibniz-Institut für Kristallzüchtung im Forschungsverbund Berlin e.V. baut im Rahmen eines Förderprojektes des Europäischen Fonds für Regionale Entwicklung ein Applikationslabor für die In-situ-(Raster)Transmissionselektronenmikroskopie ((S)TEM) auf, um die Entwicklung von Materialien für die Anwendung in mikroelektronischen, optoelektronischen und Leistungsbauelementen voranzutreiben. ln-situ- und ln-operando-Techniken haben sich international als Schlüssel zur Weiterentwicklung von Materialien und Bauelementen etabliert. Dazu werden in der Probenumgebung des TEM durch äußere Stimuli Bedingungen geschaffen, denen die untersuchte Probe oder das Bauelement unter realen Bedingungen ausgesetzt wird. Auf diese Weise lassen sich die relevanten strukturellen, chemischen und elektronischen Veränderungen auf einer breiten Größenskala bis hin zu einzelnen Atomen in-situ und in-operando visualisieren, verstehen und manipulieren. Zur reproduzierbaren Herstellung elektronentransparenter Proben für die In-situ-Transmissionselektronenmikroskopie soll ein Zweistrahlrastermikroskop beschafft werden, das neben einer Elektronensäule mit einer Ionensäule zur Nanobearbeitung von Materialien ausgestattet ist. Um den hohen Ansprüchen an die strukturelle Perfektion der Proben, Reproduzierbarkeit und Durchsatz, sowie das breite Spektrum an Materialien (Halbeiter, Dielektrika, Oxide, Nitride, 2D-Materialien, organisch-anorganische Heterostrukturen) und die Vielfalt der Anwendungen (z. B. Probenbearbeitung, 3D "Slice-and-View", Herstellung von elektronischen Testdevices) gerecht zu werden, ist eine Plasma-FIB erforderlich, die neben Xenon, Argon, Sauerstoff, Stickstoff als Primärstrahl in derselben Ionenquelle nutzt. Gegenüber den üblicherweise genutzten Ga-Quellen bieten solche Plasmaquellen den Vorteil, die optimierte Ionenquelle für die jeweilige Anwendung (hoher Abtrag oder geringe Schädigung) und das jeweilige Material wählen zu können und innerhalb eines Dünnungsprozesses den Ionentyp wechseln zu können. Zur Untersuchungen von Oberflächen und Nanostrukturen soll die Elektronenquelle so gestaltet sein, dass eine Orstauflösung kleiner oder gleich 1nm für alle nutzbaren Beschlunigungsspannungen erreicht wird. Das zu beschaffende Gerät soll automatisierte Probenbearbeitung und programmierbare Workflows erlauben, um angepasste Routinen für verschiedenste Anwendungsfälle zu erarbeiten und die Prozesse zu automatisieren. Die Forschungsdaten werden nach den FAIR-Prinzipien (Findable, Accessible, Interoperable, Reusable) strukturiert gesichert, um sie mit KI basierten Tools auszuwerten und zu bearbeiten. Das Gerät soll im Rahmen eines offenen Laborkonzepts eingesetzt werden in dem Forscher*innen es unter Anleitung nutzen. Der Auftragnehmer muss die Anlage an den Verwendungsort im Physikgebäude der Humboldt-Universität zu Berlin in Adlershof (Raum 0.512), Newtonstraße 15, 12489 Berlin, liefern, dort vollständig installieren und in Betrieb nehmen. Eine Vorort-Inspektion der Räumlichkeiten durch den Bieter ist vor der Angebotsabgabe erforderlich. Hierbei sollen die Raummaße erfasst und mögliche magnetische Felder, akustische Signale und Bodenschwingungen detektiert werden, die sich negativ auf die Performanz auswirken können. Die Ergebnisse sind dem Angebot beizulegen. Zum Leistungsumfang gehören ebenfalls: - Bekanntgabe in dem Angebot der Abmessungen und des jeweiligen Gewichts der einzelnen Mikroskopteile, - die Bereitstellung eines vollständigen Nutzerhandbuchs in englischer Sprache in elektronischer Form, - Durchführung einer Schulung (5 Tage á 8h).

II.1.6) Angaben zu den Losen Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7) Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.) Wert ohne MwSt.: 0,01 EUR

II.2) Beschreibung

II.2.1) Bezeichnung des Auftrags

II.2.2) Weitere(r) CPV-Code(s) 38512100 Ionenmikroskope

II.2.3) Erfüllungsort NUTS-Code: DE300 Hauptort der Ausführung: Leistungsempfänger: Leibniz-Institut für Kristallzüchtung im Forschungsverbund Berlin e.V, Max-Born-Straße 2, 12489 Berlin Das Gerät muss an folgenden Verwendungsort geliefert werden: Humboldt-Universität zu Berlin, Institut für Physik, Raum 0.512, Newtonstraße 15, 12489 Berlin.

II.2.4) Beschreibung der Beschaffung: Es sind folgende Leistungen zu erbringen: - Lieferung des Geräts (1 Stk.) zum Verwendungsort: Humboldt-Universität zu Berlin, Institut für Physik, Raum 0.512, Newtonstraße 15, 12489 Berlin. - Installation und Inbetriebnahme. - Bekanntgabe der Abmessungen und des jeweiligen Gewichts der einzelnen Mikroskopteile. - die Bereitstellung eines vollständigen Nutzerhandbuchs in englischer Sprache in elektronischer Form. - Durchführung einer Schulung (5 Tage á 8h). Eine Vorort-Inspektion der Räumlichkeiten durch den Bieter ist vor der Angebotsabgabe erforderlich.

II.2.5) Zuschlagskriterien Qualitätskriterium - Name: Technischer Wert / Gewichtung: 70,00 Preis - Gewichtung: 30,00

II.2.11) Angaben zu Optionen Optionen: nein

II.2.13) Angaben zu Mitteln der Europäischen Union Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja Projektnummer oder -referenz: EFRE 1.6/02

II.2.14) Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1) Beschreibung

IV.1.1) Verfahrensart Offenes Verfahren

IV.1.3) Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.6) Angaben zur elektronischen Auktion

IV.1.8) Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA) Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2) Verwaltungsangaben

IV.2.1) Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

IV.2.2) Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge

IV.2.4) Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2023/S 124-394617

IV.2.8) Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9) Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe Auftrags-Nr.: 1 Bezeichnung des Auftrags: OV_LK_Zweistrahlrastermikroskop (Plasma FIB) Ein Auftrag / Los wurde vergeben: ja

V.2) Auftragsvergabe

V.2.1) Tag des Vertragsabschlusses 07.08.2023

V.2.2) Angaben zu den Angeboten Anzahl der eingegangenen Angebote: 1 Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1 Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0 Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0 Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1 Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3) Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde Thermo Fisher Scientific, FEI Deutschland GmbH Im Steingrund 4-6 Deutschland 63303 Dreieich, Deutschland Telefon: +49 6966984948 E-Mail: mailto: elke.spiess@thermofisher.com Fax: +49 6966549054 NUTS-Code: DE71C Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja

V.2.4) Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.) Gesamtwert des Auftrags / Loses: 0,01 EUR

V.2.5) Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3) Zusätzliche Angaben

VI.4) Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1) Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren Vergabekammer des Landes Berlin Martin- Luther- Strasse 105 Berlin 10825 Deutschland Telefon: +49 3090138316 E-Mail: mailto: poststelle@senwtf.berlin.de Fax: +49 3090137613 Internet-Adresse: Internet: www.berlin.de

VI.4.2) Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren

VI.4.3) Einlegung von Rechtsbehelfen

VI.4.4) Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

VI.5) Tag der Absendung dieser Bekanntmachung Tag: 07.08.2023