Original Dokumentennummer: 205163-2012

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1) Deutsche Forschungsgemeinschaft e.V., Zentrale Beschaffungsstelle

Kennedyallee 40

Herrn Boris Licker

53175 Bonn

DEUTSCHLAND

Telefon: +49 2288852105, Fax: +49 2288853676

E-Mail: Boris.Licker@dfg.de

Internet: www.dfg.de

I.2) Art des öffentlichen Auftraggebers Sonstige: e.V.

I.3) Haupttätigkeit(en) Sonstige: Forschungsförderung

I.4) Auftragsvergabe im Auftrag anderer öffentlicher Auftraggeber

Der öffentliche Auftraggeber beschafft im Auftrag anderer öffentlicher Auftraggeber: nein

Abschnitt II: Auftragsgegenstand

II.1) Beschreibung

II.1.1) Bezeichnung des Auftrags durch den öffentlichen Auftraggeber: Beschaffung eines Sputterdepositionssystems (DFG-GZ: A 641).

II.1.2) Art des Auftrags und Ort der Ausführung, Lieferung bzw. Dienstleistung

Lieferauftrag, Kauf, Hauptort der Ausführung, Lieferung oder Dienstleistungserbringung: RWTH, Aachen. NUTS-Code DEA21

II.1.3) Angaben zum öffentlichen Auftrag, zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem (DBS) Die Bekanntmachung betrifft einen öffentlichen Auftrag

II.1.5) Kurze Beschreibung des Auftrags oder Beschaffungsvorhabens

Ein bestehender UHV-Cluster soll um ein konfokales Magnetron Sputtersystem mit 7 Kathoden erweitert werden. Die Verbindung zur zentralen Verteilereinheit des Clusters (Handlermodul) soll über eine Schleuse mit atmosphärenseitiger Belademöglichkeit (Load-Lock System) erfolgen. Es existieren standardisierte Probenhalter und Maskeneinheiten (Fläche 72 x 88 mm2). Es ist darauf zu achten, dass Schleuse und Sputterkammer die Kompatibilität zu beiden Einheiten wahren.

Schleuse:

— 4x DN 100 CF Port (1x Handlermodul, 1x Sputterkammer, 1x Andockmöglichkeit für Vakuumkoffer, 1x Schnellschlusstür) + Viewports, handbetriebene Schieberventile,

— Probenkassette mit 5 Fächern für Probenhalter,

— Nach atmosphärenseitigem Beladen innerhalb einer Stunde auf mindestens einen Druck von 2 x 10-7 abpumpbar. Sputterkammer:

— Rezipient: Basisdruck 5 x 10-8 mbar, 1 x 10-10 mbar nach ausheizen, 7 Ports im Boden der Kammer zur Aufnahme der Kathoden, davon 6 Ports konfokal, 1 Port frontal. Kathoden müssen durch die Ports getauscht werden können, 1 Service-Port zum Tauschen der Targets, Viewports inkl. Shutter, Verkleidung der Kammerwände durch sandstrahlbare Blenden,

— 4x 3“ Kathoden (DC und RF kompatibel), kippbar. Anpassung des Kathodenkopfes auf das existierende Bondplattendesign, Shutter zur Vermeidung von Fremdkontamination, Quarzwaage zur in-situ Ratenüberwachung.

— 2x DC Generator 100 W (Einstellgenauigkeit 1 W), 1x DC Generator 1 000 W, 1 RF Generator 500 W, Umschaltmatrix,

— Prozessgase Ar, N2, O2,

— Lambda-Sonde zur Bestimmung des O2 Partialdrucks,

— Probenmanipulator, rotierend, geheizt (RT – 700 K, Rampen mit mindestens 20 K/min), Variation des Depositionsabstandes 150 mm – 300 mm, Aufnahme von Mutterprobenhalter + Maskeneinheit, RF kompatibel für Plasmareinigungsprozess, Probenhomogenität besser als 2 %, Shutter,

— LN2 Probenkühlung, Substrattemperatur mindestens 100 K, Aufnahme von Mutterprobenhalter + Maskeneinheit, RF kompatibel für Plasmareinigungsprozess, Depositionsabstand 200 mm, Probenhomogenität besser als 5 %, Shutter,

— Möglichkeit Formblenden / Kollimator zwischen Kathode und Substrat zu fahren,

— Probentransfer Handbetrieb, Sputterprozess automatisiert,

— Prozessteuerung über PC, Skriptsprache zur Automatisierung, Prozessparamter-Logging, Integration neuer Peripheriegeräte. Optional anzubieten:

— Ionen-Kanone für Substratreinigung,

— 2x 3“ Zusatz-Kathoden,

— Ausheizvorrichtung,

— Quellcodeoffenlegung Steuerungssoftware.

II.1.6) Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV) 38000000

II.1.7) Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen (GPA): nein

II.1.8) Lose

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.9) Angaben über Varianten/Alternativangebote

Varianten/Alternativangebote sind zulässig: ja

II.2) Menge oder Umfang des Auftrags

II.2.1) Gesamtmenge bzw. -umfang: 1 System

II.2.2) Angaben zu Optionen

Optionen: nein

II.2.3) Angaben zur Vertragsverlängerung

Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein

Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben

III.1) Bedingungen für den Auftrag

III.1.2) Wesentliche Finanzierungs- und Zahlungsbedingungen und/oder Verweis auf die maßgeblichen Vorschriften: Anzahlungen bis zur Höhe von max. 50 % des Kaufpreises werden nur gegen unbefristete Bankbürgschaft nach deutschem Recht geleistet.

III.1.4) Sonstige besondere Bedingungen

Für die Ausführung des Auftrags gelten besondere Bedingungen: nein

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1) Verfahrensart

IV.1.1) Verfahrensart

Verhandlungsverfahren: Einige Bewerber sind bereits ausgewählt worden (ggf. nach einem bestimmtenVerhandlungsverfahren) nein

IV.1.3) Verringerung der Zahl der Wirtschaftsteilnehmer im Laufe der Verhandlung bzw. des Dialogs Abwicklung des Verfahrens in aufeinander folgenden Phasen zwecks schrittweiser Verringerung der Zahl der zu erörternden Lösungen bzw. zu verhandelnden Angebote nein

IV.2) Zuschlagskriterien

IV.2.1) Zuschlagskriterien das wirtschaftlich günstigste Angebot in Bezug auf die nachstehenden Kriterien

1. Technischer Wert. Gewichtung 50

2. Preis. Gewichtung 50

IV.2.2) Angaben zur elektronischen Auktion

Eine elektronische Auktion wird durchgeführt: nein

IV.3) Verwaltungsangaben

IV.3.1) Aktenzeichen beim öffentlichen Auftraggeber: SFB 917/2012 (A 641)

IV.3.2) Frühere Bekanntmachung(en) desselben Auftrags nein

IV.3.4) Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge 3.8.2012

IV.3.5) Tag der Absendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber 17.8.2012

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.1) Angaben zur Wiederkehr des Auftrags

Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein

VI.2) Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der Europäischen Union finanziert wird: nein

VI.5) Tag der Absendung dieser Bekanntmachung: 27.6.2012