a) Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Hansastraße 27 c

80686 München

Telefon +49 6119491060

Telefax +49 61194910699

E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de

der Stelle, an die die konventionellen Angebote zu richten sind: Fraunhofer Gesellschaft e.V. Hansastraße 27 c 80686 München

b) die Art der Vergabe: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (Teil 1) nach VgV

c) die Form, in der Teilnahmeanträge oder Angebote einzureichen sind: Elektronische Angebote sind zugelassen Textform (§ 126b BGB ist erlaubt Digitale Signatur wird nicht unterstützt Mantelbogen per Post wird nicht unterstützt Mantelbogen per Fax wird nicht unterstützt

d) Art und Umfang der Leistung sowie den Ort der Leistungserbringung: Aktenzeichen E_146_004455 deyda-wit FMD Kurzbeschreibung Automatisches in-line Wafer-Messsystem für Schichtdicken, Topographien, Rauheit sowie Warpage / Bow ausf. Beschreibungs Geplant ist die Anschaffung eines automatischen in-line Messsystems zur zerstörungsfreien Messung von 2D/3D Eigenschaften im nm- und |jm-Bereich für Messaufgaben im Bereich der 2.5D/3D-Wafer-Level-Systemintegration. Das Messsystem ist fähig, 300 mm und 200 mm-Wafersubstrate (Glas, Si, Glas/Si und Si/Si Stacks) mit Verwölbungen <3 mm und Dicken 300-1500|jm zu bearbeiten. Das Gerät ist von der Anlagenkonzeption ein Multi- Sensor-System. Die Messung und Aufbereitung der Messdaten erfolgt dabei rezeptbasierend automatisch und flächenaufgelöst mit parametrischer lateraler Auflösung im Bereich 2-10 |jm. Das Gerät ist diesbezüglich mit einem integrierten Wafer-Alignment inkl. Glaswafer-Erkennung und Wafer-ID-Lesegerät auszustatten. In Abhängigkeit der Messaufgabe erfolgt das Wafer-Handling vollautomatisch. Zwei 300 mm-FOUP-Ladestationen sind dafür vorzusehen. Die Anlage speichert alle relevanten Prozessdaten und muss den Anforderungen eines Klasse-1000-Reinraumes gerecht werden. Erfüllungsort 01468 Moritzburg

e) gegebenenfalls die Anzahl, Größe und Art der einzelnen Lose: losweise Vergabe: ist nicht vorgesehen

f) gegebenenfalls die Zulassung von Nebenangeboten: Zulässigkeit Die Abgabe von Nebenangeboten ist erlaubt. OPTIONAL_Mu Folgende Optionen sind verpflichtend anzugeben und separat zu bepreisen. - Mindestens 1 FOUP-Ladestation für SEMI konforme 300mm FOUPs - Mehrachsen-Roboter - Optischer Pre-Aligner mit Notch-Erkennung - Wafer ID-Reader zum Auslesen der alphanumerischen Wafer ID - Automatisches Handling von Wafern bis 2,5mm Verwölbung für Mehrachsen- Roboter - Interferometrischer Flächensensor mit paralleler Lichtquelle - Eine Garantieverlängerung über 24 Monate OPTIONALjDpt Folgende Optionen sollen, wenn möglich angeboten und müssen separat bepreist werden. - Chuckaufsätze für 150mm Wafergröße (manuelles beladen) - Chuckaufsätze für Filmframe- Carrier 300/200mm (manuelles beladen) - Geschlossene transparente Thermoeinheit 200 & 300mm Wafer - Optisches UV/VIS/NIR-Dünnschicht-Reflektometer - Kombi-Flächensensor bestehend aus Konfokalmikroskop und / oder interferometrischen Flächensensor mit fokussierter Lichtquelle - Eine zweite identische FOUP-Ladestation ist zusätzlich anzubieten, sofern platzseitig installierbar

g) Etwaige Bestimmungen über die Ausführungsfrist: Laufzeit in Monaten: 11 Dieser Auftrag kann nicht verlängert werden.

h) die Bezeichnung und die Anschrift der Stelle, die die Vergabeunterlagen abgibt oder bei der sie eingesehen werden können: Die Vergabeunterlagen stehen digital über die Deutsche eVergabe zur Verfügung. Sie finden das Verfahren unter folgendem Link: Internet: www.deutsche-everaabe.de/dashboards/dashboardoff/6954f56a-eb5d-4908-9800-1159d04e531b

i) die Teilnahme- oder Angebots- & Bindefrist: Teilnahmefrist Die Abgabefrist für den Teilnahmewettbewerb endet am 28.05.2018 um 23:59 Uhr.

j) die Höhe etwa geforderter Sicherheitsleistungen: keine allgemeinen Angaben

k) die wesentlichen Zahlungsbedingungen oder Angabe der Unterlagen, in denen sie enthalten sind: keine Angaben

I) die mit dem Angebot oder dem Teilnahmeantrag vorzulegenden Unterlagen, die die Auftraggeber für die Beurteilung der Eignung des Bewerbers oder Bieters verlangen: keine allgemeinen Angaben

m) sofern verlangt, die Höhe der Kosten für Vervielfältigung der Vergabeunterlagen bei Öffentlichen Ausschreibungen: Aktivierung der Ausschreibung Sie haben die Möglichkeit, dieses Verfahren elektronisch zu bearbeiten und mit der Vergabestelle online zu kommunizieren und Vergabeunterlagen einzusehen/herunterzuladen. Es fallen keine Lizenzkosten an. Zur Nutzung dieser Funktionen nehmen Sie bitte über das Portal am Verfahren teil.

n) die Angabe der Zuschlagskriterien, sofern diese nicht in den Vergabeunterlagen genannt werden: Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, alle Kriterien sind nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt

o) Name und Anschrift der Stelle, an die sich Bewerber oder Bieter zur Nachprüfung behaupteter Verstöße gegen Vergabebestimmungen wenden kann: Die Vergabekammern des Bundes Villemombler Straße 76 53123Bonn DE +49 (0) 228 9499-0 +49(0)228 9499-163 E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de Innerhalb der abgeschlossenen Geräteumgebung ist eine Reinraumklasse 100 zu gewährleisten. Folgende Messaufgaben sind zu adressieren: o Bestimmung von Si-Dicken im Bereich 0,4-800 |jm auf Trägersubstraten o Temperaturabhängige Ermittlung der Substratverformung bis 3 mm im Temperaturbereich 25-400°O Ermittlung der Schichtdicke von transparenten anorganischen Malterialien und Polymer-filmen auf und Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben: IM.1) Teilnahmebedingungen III.1.1) Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs-oder Handelsregister Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen. 111.1.2) Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit (1) Umsatz der letzten drei Geschäftsjahre (2) Eigenerklärung über das NichtVorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124 des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) (3) Eigenerklärung, dass der telefonischer Kundenservice an Werktagen (Mo - Fr. 8:00 Uhr bis 17:00 Uhr) erreichbar ist. (4) Eigenerklärung, dass ein Vor Ort Service spätestens zum übernächsten Werktag möglich ist. (5) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gern § 150 a GewO (wird durch den Auftraggeber eingeholt) 111.1.3) Technische und berufliche Leistungsfähigkeit (1) Firmenprofil, inklusive der Angabe der Mitarbeiter in dem ausgeschriebenen Bereich. (2) Referenz von vergleichbaren Projekte nicht älter als drei Jahre (Mindestangaben: Name des Auftraggeber, Ansprechpartner inkl. Kontaktdaten). Sollten Sie aus datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftraggeber). III.1.5) Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen IM.2) Bedingungen für den Auftrag 111.2.2) Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen. 111.2.3) Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal Einlegung von Rechtsbehelfen IV.4.3) Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB). Zeitpunkt der Publikation: 30.04.2018 -13:00 Uhr