Abschnitt I:

I.1) Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e.V.

Felix-Hausdorff-Str. 2

17489 Greifswald

Telefon: +49 38345543974

Fax: +49 3834554301

E-Mail: mailto: inp-vergabe@inp-greifswald.de

Internet: www.leibniz-inp.de

I.2) Informationen zur gemeinsamen Beschaffung

I.4) Art des öffentlichen Auftraggebers Andere: Forschungsinstitut

I.5) Haupttätigkeit(en) Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1) Umfang der Beschaffung

II.1.1) Bezeichnung des Auftrags: Röntgenphotoelektronenspektrometer (XPS) für in-situ Reaktorsystem Referenznummer der Bekanntmachung: INP-07-2022

II.1.2) CPV-Code Hauptteil 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

II.1.3) Art des Auftrags Lieferauftrag

II.1.4) Kurze Beschreibung: Für ein bestehendes UHV-Reaktorsystem ist die Beschaffung eines in-situ Röntgenphotoelektronenspektrometer (XPS) zum Zwecke der Erneuerung eines vorhandenen und veralteten XPS-Systems vorgesehen. Das zu beschaffende XPS-System muss mit einem bestehenden Waferhandling-Transfersystem (8“) kompatibel sein und ist integraler Bestandteil des Vakuumsystems eines UHV-Reaktorclusters. An dieser Anlage werden im Rahmen anwendungsorientierter Grundlagenforschung plasmabehandelte Proben (metallisch, dielektrisch) hinsichtlich ihrer chemischen Oberflächenzusammensetzung charakterisiert.

II.1.6) Angaben zu den Losen Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.1.7) Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.) Wert ohne MwSt.: 369.460,00 EUR

II.2) Beschreibung

II.2.1) Bezeichnung des Auftrags

II.2.2) Weitere(r) CPV-Code(s) 50410000 Reparatur und Wartung von Mess-, Prüf- und Kontrollgeräten

II.2.3) Erfüllungsort NUTS-Code: DE80N Hauptort der Ausführung: Greifswald, Felix-Hausdorff-Str. 2

II.2.4) Beschreibung der Beschaffung: Für ein bestehendes UHV-Reaktorsystem ist die Beschaffung eines in-situ Röntgenphotoelektronenspektrometer (XPS) zum Zwecke der Erneuerung eines vorhandenen und veralteten XPS-Systems vorgesehen. Das zu beschaffende XPS-System muss mit einem bestehenden Waferhandling-Transfersystem (8“) kompatibel sein und ist integraler Bestandteil des Vakuumsystems eines UHV-Reaktorclusters. An dieser Anlage werden im Rahmen anwendungsorientierter Grundlagenforschung plasmabehandelte Proben (metallisch, dielektrisch) hinsichtlich ihrer chemischen Oberflächenzusammensetzung charakterisiert. Im Zuge der Erneuerung ist es vorgesehen, ebenfalls den unteren Teil der Analysenkammer modifiziert zu erneuern. Ein entsprechendes Modell für den unteren Teil (s.u.) wird zur Verfügung gestellt. Unabhängig davon wird erwartet, dass die Anbieter vor Angebotsabgabe einen Vor-Ort-Termin zu vereinbaren, um weitere Details insbesondere hinsichtlich der Integration an das MSP-Reaktorkammersystem abzustimmen. Diese befindet sich mit einem vertikalen Abstand von 55 mm unterhalb der CF250-Flanschoberkante (XPS-Flansch) und 20 mm außermittig in Richtung Transferflansch. Die Einbautiefe des Analysators gemessen von der CF250-Flanschoberkante beträgt maximal 25mm, um das Probenhandling zu gewährleisten.

II.2.5) Zuschlagskriterien Qualitätskriterium - Name: Leistung / Gewichtung: 75 Kostenkriterium - Name: Kosten / Gewichtung: 25

II.2.11) Angaben zu Optionen Optionen: ja Beschreibung der Optionen: - Neuer Probenmanipulator mit Schrittmotorsteuerung - Wartungvertrag auf einem separaten Angebot (fließt nicht in die Wertung), Aufschlüsselung der zu erwartenden jährlichen Wartungskosten

II.2.13) Angaben zu Mitteln der Europäischen Union Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein

II.2.14) Zusätzliche Angaben Minestanforderungen: • Betriebssicherheit der Komponenten entsprechend der Strahlenschutzverordnung • programmierbares Ausheizen der Analysekammer inklusive aller Komponenten • automatisierte Kontrolle der Größe des Röntgenfokus, des Analysators sowie der Transferlinse • integrierte Routinen zur vollautomatisierten Spektrometrie, Kalibrierung und Röntgenfokus-Messung • Wasserumlaufkühler

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1) Beschreibung

IV.1.1) Verfahrensart Auftragsvergabe ohne vorherige Bekanntmachung eines Aufrufs zum Wettbewerb im Amtsblatt der Europäischen Union (für die unten aufgeführten Fälle) Der Auftrag fällt nicht in den Anwendungsbereich der Richtlinie Erläuterung: Für ein bestehendes UHV-Reaktorsystem ist die Beschaffung eines in-situ Röntgenphotoelektronenspektrometer (XPS) zum Zwecke der Erneuerung eines vorhandenen und veralteten XPS-Systems vorgesehen. Das zu beschaffende XPS-System muss mit einem bestehenden Waferhandling-Transfersystem (8“) kompatibel sein und ist integraler Bestandteil des Vakuumsystems eines UHV-Reaktorclusters. An dieser Anlage werden im Rahmen anwendungsorientierter Grundlagenforschung plasmabehandelte Proben (metallisch, dielektrisch) hinsichtlich ihrer chemischen Oberflächenzusammensetzung charakterisiert. Das MSP-REAKTORSYSTEM wurde 1995 angeschafft, um diese weiterhin einsetzen zu können benötigt sie eine Erneuerung. Der ursprüngliche Hersteller des Systems befindet sich nicht mehr am Markt. Die Erneuerung ist so komplex, dass es ohne Verhandlungen nicht möglich ist dieses System zu erneuern Das System wird auschließlich zu Forscgungszwecken eingesetzt. IV.1.3) Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.6) Angaben zur elektronischen Auktion

IV.1.8) Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA) Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2) Verwaltungsangaben

IV.2.1) Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

IV.2.2) Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge

IV.2.4) Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können

IV.2.8) Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9) Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe Auftrags-Nr.: INP-07-2022 Bezeichnung des Auftrags: Röntgenphotoelektronenspektrometer (XPS) für in-situ Reaktorsystem Ein Auftrag / Los wurde vergeben: ja

V.2) Auftragsvergabe

V.2.2) Angaben zu den Angeboten Anzahl der eingegangenen Angebote: 2 Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0 Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0 Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0 Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 2 Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

V.2.3) Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde SPECS Surface Nano Analysis GmbH Voltastr. 5 Berlin 13355 Deutschland Telefon: +49 304678240 E-Mail: mailto: info@specs.com Fax: +49 304642083 NUTS-Code: DE3 Internet-Adresse: Internet: www.specs-group.com Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein

V.2.4) Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.) Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: 378.000,00 EUR Gesamtwert des Auftrags / Loses: 369.460,00 EUR

V.2.5) Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3) Zusätzliche Angaben

VI.4) Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1) Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren Vergabekammern des Landes Mecklenburg-Vorpommern bei dem Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Gesundheit Johannes-Stelling-Str. 14 Schwerin 19053 Deutschland Telefon: +49 3855885160 Fax: +49 3855884855817 Internet-Adresse: Internet: www.regierung-mv.de

VI.4.2) Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren Vergabekammern des Landes Mecklenburg-Vorpommern bei dem Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Gesundheit Johannes-Stelling-Str. 14 Schwerin 19053 Deutschland Telefon: +49 3855885160 Fax: +49 3855884855817 Internet-Adresse: Internet: www.regierung-mv.de

VI.4.3) Einlegung von Rechtsbehelfen Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen: § 160 GWB Einleitung, Antrag (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.

VI.4.4) Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e.V. Felix-Hausdorff-Str. 2 Greifswald 17489 Deutschland Telefon: +49 38345543974 E-Mail: mailto: inp-vergabe@inp-greifswald.de Fax: +49 3834554375 Internet-Adresse: Internet: www.inp-greifswald.de

VI.5) Tag der Absendung dieser Bekanntmachung Tag: 21.04.2022